네덜란드 노광 장비 전문업체 ASML이 독일 광학기기 전문업체 자이즈그룹의 반도체 사업체인 칼자이즈 SMT에 지분투자를 단행했다. 7나노 이하 시스템반도체 공정에서 활용될 극자외선(EUV) 노광 장비의 성능을 보다 높이기 위한 조치다.
2일(현지시각) ASML은 독일 칼자이즈 SMT의 지분 24.9%를 10억유로에 인수키로 했다고 발표했다. 이번 지분 인수는 투자 성격이 강하다. 연구개발(R&D)을 독려하기 위해 지분을 인수했다는 것이 ASML의 설명이다. 칼자이즈 SMT는 ASML의 노광 장비용 광학 렌즈를 지난 30년간 공급해왔다. 차세대 EUV 장비에도 칼자이즈 SMT의 다층박막미러가 탑재된다.
양사는 2020년 초반까지 차세대 EUV 장비를 개발할 계획이다. ASML은 칼자이즈 SMT와의 협력으로 현재 0.33인 EUV 노광 장비 다층박막미러의 개구수(numerical aperture, NA)를 0.5 이상으로 높일 것이라고 밝혔다. 개구수를 높이면 해상력이 높아져 보다 미세한 패턴을 구현할 수 있다.
피터 베닝크 ASML 최고경영자(CEO)는 “2018년이면 EUV를 활용해 반도체가 생산될 것”이라며 “차세대 EUV 개발을 위해 칼자이즈 SMT와 협력을 더 강화하겠다”라고 말했다.
한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com