디스플레이 제조 공정에서 오염도를 측정하는 장치가 전자부품, 의료, 바이오, 식품 연구에 활용될 전망이다.
제덱스(대표 김진호)는 디스플레이 제조사가 사용하던 표면이물 관리 장치인 표면입자계수기 `에스 카운터(S-Counter)`와 이에 필요한 입자채취 필름을 양산한다고 15일 밝혔다.
제덱스가 개발한 표면입자계수기는 표면 이물을 검출해 측정하는 장치다.
지금까지 표면 또는 부품 이물을 측정하려면 물이나 용액에서 이물질을 분리해 여과장치로 여과 후 수를 세거나 공기 중에서 분리한 다음 해당 공기를 여과장치로 분리해 계수했다. 이는 많은 시간이 소요되고 절차가 복잡해 오차 발생 요인이 됐다.
특히 설비 제품 접촉면은 작업 자체가 불가능한 사례가 많다. 제덱스는 이물분리 필름을 개발해 표면에서 이물을 직접적으로 검출하는 방식으로 해결했다. 해당 필름 특허도 등록했다.
필름을 사용해 분리하더라도 현미경으로 계수할 때 몇 시간이 소요되는 검사시간이 문제였다. 이 때문에 해당 필름 표면의 이물과 분자, 섬유, 보푸라기 등을 계수하기 위한 전문 계수기가 필요했다. 이렇게 탄생한 것이 자동 검출 계수장치인 에스 카운터 시리즈다.
제덱스 필름과 계수기를 이용하면 여과 후 현미경 계수 방식 대비 소요시간이 많게는 100분의 1에서, 적게는 5분의 1까지 줄일 수 있다. 검출 오차가 작다.
지난해 개발을 마친 표면입자계수기는 국내 디스플레이 대기업의 유기발광다이오드(OLED)와 액정표시장치(LCD) 생산라인에서 사용 중이다. 카메라 모듈과 광학 기업에도 공급했다. 의료·식품 산업에도 공급을 앞뒀다.
김진호 대표는 “디스플레이나 광학 정밀전자 산업에서 장비 표면 이물로 생기는 불량이 많음이 밝혀지고 있다”면서 “국제적으로도 표면청정도 규격이 생겨날 만큼 중요성이 커졌다”고 말했다.
김 대표는 “이물질로 생기는 불량은 보다 세밀화되는 모든 산업공정에서 효율성을 떨어뜨리는 요인”이라면서 “제덱스는 수요 산업에 맞게 0.5㎛부터 100㎛에 이르는 다양한 감도를 가지는 모델을 지속 출시하겠다”고 밝혔다.
이경민 성장기업부(판교)기자 kmlee@etnews.com
