미국 화학재료 전문업체 새이켐은 내년 2월 8일부터 10일까지 서울 코엑스에서 국제반도체장비재료협회(SEMI)가 주최하는 `세미콘코리아 2017` 전시회에 신규 화학재료인 에틸트리메틸 암모늄 하이드로옥사이드(ETMAH:EthyTriMethyl Ammonium Hydroxide)를 전시한다고 밝혔다.
ETMAH는 테트라메틸 암모늄 하이드로옥사이드(TMAH:TetraMethyl Ammonium Hydroxide)를 대체할 수 있는 화학재료다. 새이켐이 세계 유일하게 양산한다.
TMAH는 식각, 세정, 현상 등 습식(Wet) 공정에서 활용되는 화학 재료의 핵심 원재료로 널리 활용되고 있다. 그러나 독성이 강해 최근 인쇄회로기판(PCB), 반도체, 디스플레이 업계를 중심으로 TMAH를 이를 대체할 수 있는 재료를 찾는 중이다.
ETMAH는 TMAH와 비교해 독성이 덜한 것이 최대 장점이다. TMAH 대비 LD50(Lethal Dose 50)이 높다. LD50이란 한 무리의 실험동물 50%를 사망시키는 독성물질 양을 의미한다. TMAH는 LD50이 1㎏당 120㎎다. ETMAH는 LD50이 1㎏당 1000㎎로 8배 이상 높다. 독성이 8분의 1 수준으로 낮다는 의미로 받아들일 수 있다.
메탈이온 수준도 TMAH 대비 낮다. 재료 속에 함유된 메탈의 양이 적다는 얘기다. 전자재료에 메탈이 많이 함유돼 있다면 전기적 특성에 영향을 미칠 수 있다. 메탈이온이 적은 것이 좋다. 다 쓰고 난 폐재료 처리도 TMAH 대비 쉽다. ETMAH는 신물질이어서 TMAH 대비 원가가 높지만, 안전성과 처리 비용을 감안하면 전체 비용 면에서는 오히려 유리하다는 것이 새이켐의 설명이다.
새이켐은 그간 TMAH를 세계적인 반도체 업체로 공급하며 기술 우수성을 검증받았다. 몇 년 전부터 TMAH의 강한 독성이 업계의 문제로 떠오르자 이를 대체할 신물질 개발에 역량을 집중했다.
새이켐 전자재료 분야 관계자는 “올해 중 국내 공급이 가능하도록 행정적 등록 절차를 마칠 것”이라면서 “내년 상반기부터 국내 유수 반도체용 프로세스 화학재료 제조업체에 ETMAH를 공급할 예정”이라고 설명했다. 이 관계자는 “새이켐은 본사인 미국 텍사스뿐 아니라 중국지사 공장에서도 ETMAH를 생산하고 있다”며 “공급 면에서 안정적 시스템을 구축한 것”이라고 덧붙였다.
한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com