반도체 노광장비 업체 ASML코리아는 이달 8일부터 10일까지 서울 삼성동 코엑스에서 열리는 세미콘코리아 2017에 참가해 극자외선(EUV) 노광장비 등 최신 장비와 기술 동향을 발표할 예정이다.
ASML코리아는 D홀에 마련된 전시부스(#5300)에서 현재 반도체 양산 공정에 쓰이는 이머전(Immersion, 액침) 시스템과 새로운 광원을 이용한 EUV 노광장비에 관한 내용을 전시한다. ASML코리아는 세미콘코리아 기간 중 열리는 `SEMI 기술 심포지엄`의 리소그래피 세션에서 EUV 관련 기술 개발 사항에 대한 발표도 진행한다.
기술 심포지엄 외 일반 참가자의 기술 이해도를 높이고자 독자적인 EUV 소개 행사도 개최한다. 이 행사에는 ASML코리아의 조한구 부사장, 이성우 박사, 안창남 박사가 참여한다. 2월 9일 콘퍼런스룸 208호에서 오후 1시 30분부터 5시까지 진행된다. EUV 기술에 관심 있는 사람이라면 누구나 참여 가능하다.
네덜란드에 본사를 둔 ASML은 세계 5대 반도체 생산장비 업체 중 하나다. 지난 1월 18일 발표된 실적 발표에서 이 회사는 68억유로(약 8조5000억원)의 매출을 기록했다고 밝혔다. 이는 사상 최대 매출 실적이다.
ASML은 실적발표에서 차세대 EUV 장비 성능이 1일 1500장 웨이퍼를 처리할 수 있을 만큼 좋아지고 4주 평균 90% 이상 가동률을 달성했다고 밝혔다.
피터 베닝크 ASML 최고경영자(CEO)는 “2016년은 고객사의 EUV 장비 도입이 목전에 있다고 느낄 수 있었던 한해였다”라면서 “(올해는) 고객사에 EUV 양산 장비를 실제 공급하기 위해 노력할 것”이라고 말했다.
ASML은 지난해 4분기 6대의 EUV 장비(NXE3400)를 수주 받았다. 총 수주 대수는 18대다. 수주 금액 기준으로는 20억유로(약 2조5000억원) 규모다.
한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com