반도체 생산용 특수 화학물질과 첨단소재 처리 솔루션 전문업체인 인테그리스가 국내 공장에서 가스정제 시스템을 생산하기로 했다. 한국 고객사 대응력을 높이고 아시아 지역 수출도 도모한다.
홍완철 인테그리스코리아 대표는 “경기도 화성 장안 공장에서 가스정제 시스템인 `게이트키퍼`를 생산하기로 했다”면서 “한국에서 생산된 게이트키퍼는 한국 반도체 디스플레이 고객사에 우선 공급되고 일본 등 아시아 지역으로 수출도 이뤄질 것”이라고 밝혔다.
인테그리스 게이트키퍼 시리즈는 청정건조공기(CDA), 질소(N2), 수소(H2), 극자외선(EUV) 노광용 H2, 아르곤(Ar), 암모니아(NH3) 등 반도체 생산에 쓰이는 가스에서 수분과 메탈, 유기 솔벤트 등 다양한 오염물질을 1조 분의 1분율 단위 수준으로 제거하는 장치다. 세계적으로 가스 정제 시스템을 생산하는 곳은 인테그리스를 포함해 두 곳 밖에 없다. 점유율은 각사 50% 수준으로 비슷하다. 이번 생산공장 확장으로 점유율을 확대해 나갈 것이라고 홍 대표는 강조했다.
게이트키퍼 시리즈는 덩치가 작아 생산라인 공간을 적게 차지한다. 불순물을 정제하는 두 개의 장치는 정제와 재생 기능을 번갈아가며 수행하기 때문에 한 번 도입하면 반영구적으로 사용할 수 있다.
홍 대표는 “본사에서도 한국 현지화 전략에 많은 관심을 갖고 있다”라면서 “국내 설비 투자를 지속적으로 확대해 글로벌 반도체 고객사 수율 극대화에 일조할 것”이라고 말했다.
회사는 8일부터 10일까지 서울 삼성동 코엑스에서 개최되는 세미콘코리아 2017에 전시 부스를 차리고 게이트키퍼 시리즈를 소개했다.
인테그리스는 첨단 케미컬과 정제장치, 관리제품을 주력으로 삼는 미국 기업이다. 2016 회계연도 매출액은 13억달러였다. 세계 직원 수는 3500여명이다. 수원 한국기술센터 내에 연구개발(R&D)센터, 강원도 원주와 경기도 화성 장안에 생산공장을 운용하고 있다.
한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com