한국산업기술대 나노광공학과 남옥현 교수구팀은 나노구조 기술을 응용해 무형광체 백색 발광다이오드(LED) 제조 원천기술을 개발했다고 14일 밝혔다. 기존 무형광체 백색LED의 단점인 복잡한 고비용 제작공정과 외부공정 없이 백색광 색 온도를 다양하게 변화시킬 수 있는 것이 특징이다.
형광체 없이 백색을 구현하는 `무형광 백색LED`는 차세대 LED조명기술이다. 현재까지 보고된 결과는 추가적으로 `미세패터닝 제작공정`이 필요하다. 다양한 색온도 백색광 구현을 위해서는 더 복잡한 제작공정이 수반된다.
산기대 연구팀은 일반 LED 제조장비(MOCVD)를 이용해 질화갈륨 LED박막을 증착할 때, 나노크기 질화실리콘(SiNx) 박막을 다양한 밀도로 질화갈륨(GaN) 반도체 위에 증착하는 기술과 이 위에 3차원 질화갈륨(GaN) 나노구조 형상을 다양한 형태로 조절하는 기술을 개발했다. 이렇게 제작된 3차원 나노구조 위에 질화인듐갈륨(InGaN)을 증착시키면 각 나노구조에 따라 다양한 색온도 백색 발광층이 만들어지는 것을 실험단계에서 성공했다.
LED 제조에 사용되는 MOCVD 장비를 대구경 기판에도 적용할 수 있게 된 셈이다.
남옥현 교수는“연구는 실시간 나노마스크 기술을 응용해 다양한 색온도 무형광체 백색LED를 간단하게 제작하는 원천기술을 개발한 것에 의미가 있다”고 말했다.
이경민 성장기업부(판교)기자 kmlee@etnews.com
