인공지능(AI), 사물인터넷(IoT), 빅데이터 등으로 대표되는 4차 산업혁명시대를 앞두고 그 기반인 반도체 산업이 최근 호황기에 접어들었지만, 국내 반도체 제조기술 분야 특허출원은 오히려 감소한 것으로 나타났다.
이에 따라 반도체 산업의 경쟁력 강화를 위해 관련 제조기술 분야 특허출원을 강화할 필요성이 제기된다.
4일 특허청에 따르면 반도체 제조기술 관련 특허출원 건수는 2007년 7583건에서 지난해 4241건으로 최근 10년간 계속 감소했다.
반도체 제조기술은 웨이퍼로부터 반도체 칩을 제조하기 위한 일련의 공정인 리소그래피, 식각, 증착, 연마, 절단, 패키징 등 공정기술과 공정간 웨이퍼 이송기술 등 반도체 산업의 기반이 되는 기술이다.
외국인 특허출원 건수는 매년 2000건 내외로 유지됐지만, 내국인은 2007년 4928건에서 지난해 1936건으로 60.7%(2992건)나 줄었다.
내국인 중 기업의 특허출원 건수는 같은 기간 4474건에서 1585건으로 65% 가까이 줄었다. 특히 대기업은 2518건에서 568건으로 77.4%나 급감해 감소 폭이 컸다.
2014년 기준 우리 기업의 이 분야 국내출원 대비 해외출원 비율도 대기업이 22%, 중소·중견기업이 8%로 낮게 나타났다.
지난해 반도체 제조기술 종류별 특허 출원 비중을 보면 마스크 상에 설계된 회로패턴을 반도체 웨이퍼 상으로 옮기는 공정인 리소그래피기술(31%)이 가장 높은 점유율을 보였다. 증착기술(24%), 이송·지지기술(18%), 연마·절단기술(9%), 검사기술(5%), 식각기술(5%), 패키징 기술(4%), 이온주입기술(3%), 세정기술(2%)이 뒤를 이었다. .
주요국과 비교해 볼 때 우리나라는 고부가가치 반도체 제조 기술인 리소그래피기술, 증착기술, 식각기술 등에 비해 세정기술과 이송·지지기술 등에서 특허출원비중이 상대적으로 높은 것으로 나타났다.
최근 5년간 다출원 기업 현황을 보면 일본 동경일렉트론(1164건)이 가장 많았고, 세매스(883건), 삼성전자(832건), 어플라이드머티리얼즈(679건), 동우화인켐(648건)의 순이었다.
제승호 반도체심사과장은 “우리나라는 과거나 지금이나 반도체 장비 분야의 경쟁력이 약하다”면서 “4차 산업혁명으로 폭발적으로 증가할 것으로 예상하는 반도체 수요와 그로 인해 창출될 막대한 경제적 이익을 고려할 때 반도체 제조기술 핵심특허 확보노력을 강화해 반도체 산업의 절대 우위를 다시 한 번 다질 필요가 있다”고 말했다.
대전=신선미기자 smshin@etnews.com