해외 유력 반도체 제조장비 업체는 오래 전부터 한국에 생산 법인과 연구소를 설립, '현지 경영'에 나섰다.
반도체 식각 장비 업체 램리서치코리아는 한국 생산 법인인 램리서치매뉴팩처링을 운용하고 있다. 이곳에선 장비 조립과 연구개발(R&D)이 실시된다. 램리서치는 2011년 11월 한국(Korea)과 미국(US)의 합성어 발음 형태인 코러스(Corus)를 국내 장비업체 참엔지니어링과 합작 법인으로 설립했다. 2013년 10월 313억원을 투입, 100% 지분을 확보했다. 고용을 확대, '2015년 고용창출 100대 우수기업' 표창도 받았다.
도쿄일렉트론 역시 경기도 화성시 동탄에 고객사와 장비 공동 개발을 위한 연구소와 경기도 화성시 향남읍 발안에 제조공장을 운용하고 있다.
알박은 국내에 디스플레이 장비 생산 공장은 물론 연구소까지 설립하며 사업 규모를 늘려 왔다. 이렇게 키워 온 국내 사업 기반은 현재 중국 시장 지원에 활용된다. 중국에서 수주한 제품을 국내에서 생산하기도 한다.
세계 10대 반도체 전 공정 장비 업체로 꼽히는 네덜란드 ASM도 최근 550억원을 투입, 경기도 화성시 동탄에 첨단 생산라인을 짓기 시작했다. 내년 9월 완공이 목표다. ASM 화성 동탄 공장에선 신장비 연구개발(R&D)과 생산을 병행한다. ASM은 현재 220여명인 한국 직원 숫자가 앞으로 3년 안에 500명까지 늘 것으로 보고 있다.
세계 1위 반도체 디스플레이 장비 업체 어플라이드머티어리얼즈는 지난 6월 한국 정부와 손잡고 2500만달러(약 285억원) 규모의 혁신 펀드를 조성키로 했다. 이 자원으로 한국 스타트업에 자금을 투입할 예정이다. 펀드의 집중 투자 분야는 반도체, 디스플레이, 로봇공학, 헬스케어, 에너지 저장 기술 등이다.
업계 관계자는 “국내에 삼성전자, SK하이닉스, 삼성디스플레이, LG디스플레이 등 대형 고객사들이 포진해 있어 해외 장비 기업 역시 한국에 투자를 확대하고 있다”면서 “이들 기업의 국내 생산 라인은 중국과 대만 수출 전진 기지로도 활용된다”고 설명했다.
한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com