한국나노기술원은 판교-광교-기흥-평택을 잇는 ICT 산업 벨트에 위치한 국가나노인프라다. 중소기업 기술개발부터 양산 시제품 개발, 신뢰성시험인증에 이르기까지 모든 주기를 지원한다.
2008년부터 고속통신, 고전력, 광소자와 각종 첨단 센서를 시양산할 수 있는 반도체 팹(Fab) 시설과 제작된 소자 특성분석과 불량분석이 가능한 첨단 공용 연구장비 200여대를 구축, 지원하고 있다.
2017년 한 해 동안 지원한 연구장비 공동활용 서비스는 1만2880건. 이 가운데 산업체 이용비율이 75%에 달한다. 매년 중소기업 이용률이 증가하고 있다.
특히 시스템소자 관련 중소기업 제품개발에 필요한 험분석 및 신뢰성인증을 원스톱으로 지원하기 위해 한국과학기술연구원(KIST), 신뢰성인증전문 기관인 큐알티, 충북테크노파크, 한국에스지에스 등과 협력네트워크를 구축했다. 또 판교테크노밸리를 중심으로한 ICT벨트 내 시스템소자 관련 업체를 원스톱 지원하기 위한 종합분석 신뢰성인증센터를 2015년 7월 개소했다.
시스템소자는 4차 산업혁명을 주도하는 인공지능과 정보통신이 결합된 고도의 지식 및 기술결합형 신산업을 이끄는 핵심소자다. 관련 업체 70% 이상이 판교를 중심으로 한 ICT벨트 내에 위치하고 있다.
실리콘반도체의 취약점인 광특성과 동작속도, 출력 등을 개선하기 위해 III-V 계열의 다양한 화합물반도체를 양산 수준으로 제작해 볼 수 있는 환경도 제공한다. 5G 시대에 대응하는 초고속 RF소자, 광통신 소자 및 전기자동차에 필요한 전력반도체, 자율주행자동차용 LiDAR, 차세대 디스플레이용 마이크로 LED나 양자점 제작 지원이 가능하다.
연구장비 공동활용 사업으로는 시스템소자 개발에 반드시 필요한 고가 장비를 활용한 시제품 개발과 시험분석 및 신뢰성인증 비용을 매칭 지원한다
지원분야는 공정장비부터 공정·구조분석, 극미세극미량 물질분석, 환경유해물질분석, 회로분석, RF모델링, 불량분석, 신뢰성시험 등 시스템소자 개발에 필요한 전 분야다.
한국나노기술원은 이를 통해 나노인프라 지원 기능을 강화하고 4차 산업혁명에 대비하는 ICT 산업 분야 중소기업 육성에 기여하고 있다.
김순기기자 soonkkim@etnews.com