국내 나노인프라 기관이 나노기술 활용 사물인터넷(IoT) 센서·소자 공정플랫폼 기술 사업을 통해 개발한 플랫폼 기술을 전면 개방, 기업과 연구자 연구개발(R&D)를 지원한다.
나노종합기술원·한국나노기술원·나노융합기술원 등 국내 나노인프라 기관은 인하대, 한양대와 함께 '나노인프라 기반 IoT 구현을 위한 5대 공정기술 개발사업(선행공정·플랫폼기술 R&D사업)' 1단계 사업을 마치고 개발한 기술을 기업 등에 지원하는 2단계 사업에 돌입했다.
나노종합기술원을 비롯한 세 곳은 국가나노인프라협의체 회원 기관이다. 이들을 포함한 13개 기관 100여명 연구진은 IoT 기반 미래 초연결 사회 도래와 센서·소자 수요 급증에 대비한 연구에 힘쓰고 있다.
사업 초점은 중소·벤처기업을 포함한 산학연 연구그룹이 나노인프라를 활용해 다양한 센서·소자 기술과 제품을 개발할 수 있도록 공정을 마련하는 것이다. 실제 현장에서 활용할 수 있도록 범용성을 갖춘 '플랫폼(라이브러리)'도 만든다. 우리나라는 주요 산업분야 핵심 센서 대부분을 수입에 의존하고 있어 관련 연구가 시급한 실정이다.
공동 연구진은 사업을 통해 초절전·초소형·고집적·고감도·고성능 센서 구현이 가능한 '5대 공정기술' 확보를 추진하고 있다. 이들 공정 기술은 원천·기반 기술 각기 한 개와 응용 기술 세 개다.
원천 기술 '초절전 집적공정 플랫폼'과 기반기술인 '고집적·다차원센서 공정 플랫폼', 응용 기술인 '초소형 정밀기계기술(MEMS)' '초미세 상보형금속산화반도체(CMOS)' '고감도·고성능 극한환경 센서' 공정과 플랫폼을 만든다.
연구진은 지난해 중순에 마친 사업 1단계를 통해 대부분 관련 기술과 40여건 플랫폼을 구축했다. 진행 중인 2단계로는 추가 플랫폼 개발과 지식재산권(IP) 이전, 최적화 응용, 상용화 개발 이전, 시제품 제작 양산기술 개발, 제품화 등에 주력한다.
향후에는 개발 성과로 IoT 센서·소자 기술과 사업화 서비스할 계획이다. 자기, 관성, 고온·압력, 환경, 적외선, 가스 센서, 웨이퍼 레벨 배선·패키징, 측정·테스팅 기술 등 센서와 소자 개발을 지원한다. 또 지금까지 개발한 플랫폼기술 40여건을 개방한다. 관련 내용은 나노인프라 홈페이지에서 확인할 수 있다.
나노인프라 기관들은 별도로 연구자가 나노인프라 내 첨단 장비를 활용할 수 있도록 하는 것에도 힘쓰고 있다. 나노종합기술원과 한국나노기술원은 대학 연구자 연구여건 개선을 위해 '나노팹시설활용 지원사업'을 펼치고 있다. 매년 100명 내외 연구자를 지원하는데, 이 가운데 70% 이상을 신진연구자와 여성연구자와 지방대연구자 등 연구취약계층으로 채우고 있다.
이재영 국가나노인프라협의체 회장은 “국내의 경우 IT 기기용 이미지 센서나 터치 센서, 마이크로폰 센서 외 기술력은 매우 취약해 첨단 센서와 소자 공정플랫폼기술 개발이 중요하다”며 “이를 통해 국내 기술 수요에 솔루션을 제공하고 별도 장비활용 지원 사업도 펼치는 등 현장 어려움 해소에 힘쓰고 있다”고 말했다.
대전=김영준기자 kyj85@etnews.com
