램리서치는 자가 유지보수 기술로 반도체 식각장비를 1년 동안 중단 없이 가동하는데 성공했다고 29일 밝혔다.
식각은 웨이퍼에 불필요한 부분을 선택적으로 제거해 반도체 회로 패턴을 만드는 공정을 뜻한다. 이 공정은 주기적인 유지보수와 소모품 교체가 필요하다. 안정된 성능 유지를 위해 월 또는 주간 단위로 챔버를 열어 부품을 교체하거나 세정한 이후 적격성을 다시 평가해야 했다.
하지만 램리서치는 부품을 자동 교체하는 방식을 도입해 기존 식각장비 한계를 극복했다고 설명했다.
바히드 바헤디 램리서치 부사장은 “1년 전 고객사와 함께 세정 작업을 할 필요 없이 365일 동안 가동한다는 목표를 세웠는데, 올 4월 그 목표를 달성했다”며 “자가 유지보수 장비로 인적 개입을 줄이면서 생산 효율을 높일 수 있다는 게 확인됐다”고 말했다.
램리서치는 업계 최초 개발된 자동 소모품 교체 시스템(Corvus R)이 주된 역할을 했고 챔버를 수명이 긴 부품들로 구성해 목표를 달성할 수 있었다고 설명했다. 또 자동 세정 기술 도입과 인텔리전스 솔루션을 도입했다고 덧붙였다.
윤건일 전자/부품 전문기자 benyun@etnews.com
