칸켄테크노코리아는 반도체·디스플레이 공정 장비인 '스크러버'를 40년 이상 만들어온 업체다. 오랜 기간 축적한 공정 노하우와 내구성으로 국내 시장을 공략한다는 것이 목표다.
주력 장비 스크러버는 환경 보호를 위해 반도체와 디스플레이 공정에서 반드시 쓰이는 장치다.
반도체 공정에는 다양한 화학 물질이 사용된다. 동그란 반도체 웨이퍼 위에 얇은 층을 쌓는 화학기상증착법(CVD) 공정, 회로를 깎아내는 에칭(식각) 공정 등에서는 유해한 가스가 활용된다.
공정 후 이 가스를 그대로 배출하면 사람에게 치명적이면서 지구 환경에 악영향을 준다.
이를 방지하기 위해 스크러버가 활용된다. 공정에 쓰인 유해한 가스를 스크러버가 정화하는 것이다.
커다란 반도체 장비마다 한 대씩 장착될 때도 있고, 화학 반응이 일어나는 챔버마다 한 대씩 붙어 유해한 물질을 제거하기도 한다. 한 팹당 1500~2000대가량 스크러버가 활용된다.
스크러버 제품군은 다양한 종류로 나뉜다. 물을 써서 물질의 성질을 중화하거나 열에너지, 플라즈마를 사용해 가스를 분해하는 방식이 있다. 특정 가스를 주입해 유해 물질을 태우는 방법도 있다.
칸켄테크노는 열에너지를 활용한 스크러버 제조에 강점을 지닌다. 정화장치 내부를 700~800도로 끌어올려서 유해 물질을 분해한다. 반도체 공정에서 전기 배선을 놓는 텅스텐 공정, 웨이퍼 위에 박막결정을 성장시키는 에피택시 공정에 주로 쓰인다.
킨켄테크노는 특히 열에너지 방식 스크러버 내부에 달린 핵심 부품 '히터' 내구성에 자신감을 보인다. 말 그대로 장비에 열을 공급하는 부품인데, 칸켄테크노 제품은 길게는 5년 이상 지속되는 게 특징이다.
이는 칸켄테크노의 독특한 공정 구현이 있기에 가능하다. 이른바 '웨트-히트-웨트(wet-heat-wet)'라고 불리는 방식을 독자 구현했다.
통상 히터식 스크러버는 유해 물질이 공급되면 곧바로 열을 올려 물질을 분해한다. 그러나 칸켄테크노 제품은 열을 가하기 전 액체를 먼저 공급한다. 분해해야 할 유해 물질에 섞인 미세 분말을 액체로 미리 제거하는 방식이다. 히터 오염과 부식을 최소화하면서 내구성을 크게 개선할 수 있다.
칸켄테크노는 이번 세미콘코리아에서 주력인 히터식 스크러버와 함께 플라즈마 원리를 활용한 스크러버도 처음 선보인다.
올해 칸켄테크노는 한국에서 2배 이상의 성장이 가능할 것으로 봤다. 국내 반도체 관련 대기업과 협업이 순조롭고, 샘플 제품을 제공했던 국내 대형 디스플레이 제조사에게는 긍정적인 제품 평가 결과를 얻었다.
이정학 칸켄테크노코리아 이사는 “환경 보호와 사람 안전이 최우선시되고 있다”며 “자사 장비의 안전성, 독창적 디자인, 재질 고급화로 제해효율을 최대치로 끌어올릴 수 있다”고 말했다.
강해령기자 kang@etnews.com