국내 나노인프라 기관의 사물인터넷(IoT) 센서, 소자 공정플랫폼기술 개발 성과가 기술에 목마른 국내 관련 기업에 단비가 되고 있다. 지금까지 70여건 기술을 개방, 1200여건에 달하는 서비스 지원성과를 거두고 있다.
나노종합기술원, 한국나노기술원, 나노융합기술원 등 국내 나노인프라 기관이 기술 개발 및 지원 주체다. 이들은 인하대, 한양대 등과 힘을 합쳐 2015년부터 '나노인프라 기반 IoT 구현 공정기술개발사업(선행공정·플랫폼기술연구개발사업)을 수행 중이다.
사업 초점은 이미 구축된 나노인프라를 이용해 중소·벤처기업을 포함한 산·학·연에 다양한 센서·소자 기초·원천기술 제품개발을 지원하는 것이다. 이를 위해 IoT용 센서와 소자 핵심 기능인 초절전·초소형·고집적·고감도·고성능을 구현하는 5대 공정기술 확보에 열을 올리고 있다.
차세대 초절전 집적 공정 플랫폼, 초소형 NEMS(Nano Electro-Mechanical Systems) 공정 플랫폼, 차세대 나노소자 양산 마스크 오염방지 플랫폼, 나노 실리콘 기반 센서 공정플랫폼 등을 개발 중이다. 이미 개발 결과물인 공정플랫폼기술(공정라이브러리) 71개를 국가나노인프라협의체, 나노종합기술원, 한국나노기술원 홈페이지에서 공개하고 있다.
활용성과도 상당하다. 다양한 산·학·연을 대상으로 1267건에 달하는 서비스 성과를 거두고 있다. 14건 기술은 이미 이전했고, 총 579건 기술 상담을 진행했다. 이에 따른 수입은 약 25억4300원에 달한다. 성과는 선행공정·플랫폼기술연구개발사업 진행에 따라 늘어날 전망이다.
나노인프라 기관은 IoT 센서와 소자 관련 다양한 기술과 사업화 서비스를 지속 지원할 계획이다. 특히 자기, 관성, 고온, 압력, 환경, 적외선, 가스센서, 웨이퍼 레벨 배선, 패키징, 측정 및 테스팅 관련 스마트센서와 소자 개발을 지원한다.
나노인프라 기관들은 사업성과가 원천기술이 부족한 국내업체 기술 사업화에 큰 도움이 될 것으로 보고 있다. 첨단 센서 등 제품개발에는 평균 7~8년이 소요되는 반면에 중소벤처기업의 경우 설계, 공정, 분석, 시험평가 장비가 부족해 나노인프라 기관 사업성과를 활용하는 것이 훨씬 이득이다.
나노인프라 기관들은 공정라이브러리 활용도 향상을 위해 수요자 발굴, 서비스 유지 및 개선, 이용자 접근성 개선, 스마트센서 전주기 파운드리 공정지원 플랫폼 구축 등에도 노력을 기울이고 있다.
이조원 국가나노인프라협의체 회장은 “국내는 스마트폰과 IT 기기용 이미지센서, 터치센서, 마이크로폰 센서 이외 기술력은 매우 취약해 첨단 센서와 소자 공정플랫폼기술 개발이 필요하다”며 “나노인프라가 국내기업 등 관련 산·학·연 연구자에게 기술 수요에 대한 솔루션 제공하는 역할을 지속 수행할 것”이라고 말했다.
[표]나노인프라기관 표준공정라이브러리 지원성과
대전=김영준기자 kyj85@etnews.com
