[미리보는 세미콘코리아 2020]<13>에어리퀴드

에어리퀴드 천안 공장 전경. <사진=에어리퀴드>

에어리퀴드는 산업용 가스와 함께 반도체 공정용 가스를 만드는 업체다. 최근 업계에서 주목받는 원자층증착(ALD) 공법에 필수인 프리커서, 식각 공정용 전자특수가스(ESG) 등을 주로 생산한다. 선진 가스 기술 개발과 적극적인 국내 설비 투자로 소자 업체 초미세 공정을 지원한다는 방침이다.

에어리퀴드는 2018년도 연매출이 27조원(210억유로)에 달하는 글로벌 화학 기업이다. 건설, 자동차, 식품 등 다양한 제조업에서 쓰이는 가스 솔루션을 지원한다.

반도체, 디스플레이 등 전자 산업 재료도 생산한다. 이 가운데 반도체 관련 매출은 전체 8% 정도인 2조3000억원을 차지한다.

에어리퀴드는 반도체 제조 핵심 증착과 식각 공정에 필요한 가스를 주력으로 한다. 반도체 칩은 동그란 웨이퍼 위에 층을 쌓는 증착, 회로를 깎아내는 식각 작업을 수 백회 반복해 만들어진다.

미세한 층과 회로를 만들어내기 위해 화학 반응을 유도하기도 하는데, 이때 에어리퀴드는 증착에 필요한 화학품인 프리커서, 식각용 특수가스 '엔스크라이브(enScribe)' 등을 공급한다.

특히 에어리퀴드가 생산하는 프리커서는 차세대 증착 공법으로 주목받는 ALD 공정에서 필수적인 제품이다. ALD 공법은 프리커서와 특정 화학 물질을 반복 주입해 웨이퍼 '표면'에서만 화학 반응이 일어나도록 유도하는 공법이다.

챔버 내 모든 공간에서 화학 반응이 일어나는 기존 화학기상증착(CVD) 공법에 비해 더욱 얇은 층을 쌓을 수 있다. 에어리퀴드 관계자는 “칩 크기를 줄이고 집적도를 높여야하는 과제를 안은 반도체 소자 업체 활용도가 늘어나는 추세”라며 “다양한 프리커서 제품을 확보하는 것이 에어리퀴드의 숙제”라고 전했다.

에어리퀴드는 국내 유수 반도체 업체에 프리커서 제품과 특수 가스를 공급한다. 이들은 탄탄한 연구개발(R&D) 기반으로 고객사 첨단 칩 공정을 지원한다는 전략이다.

가스 제품 개발은 무궁무진한 화학적 결합과 반응을 유도할 수 있는 속성 때문에 제품 R&D 능력이 가장 중요하다.

에어리퀴드는 세계 각국에 R&D 센터를 보유해 다양한 연구를 진행한다. 한국에도 연세대 내 R&D 센터를 운영하고 있어 국내 소자 회사와 지근거리에서 협력할 수 있는 것이 장점이다. 에어리퀴드 관계자는 “반도체는 소자업체, 장비사, 소재 회사 간 끈끈한 협력이 있어야 만들어진다”며 “글로벌 반도체 회사들이 위치한 곳 어디든 에어리퀴드가 위치하고 있어 탄탄한 R&D 인프라를 보유한 것이 회사의 장점”이라고 전했다.

한국에서는 주력 제품을 생산할 수 있는 생산 기지까지 운영하고 있다. 세종, 장안, 천안 세 군데에서 반도체 재료 공장을 가동하고 있다. 천안은 올해 1월 특수가스를 생산할 수 있는 신규 설비를 갖췄다. 장안 공장에도 지난해 9월 에칭 가스를 만드는 새로운 공장을 가동하는 등 국내 반도체 산업 규모에 걸맞은 왕성한 투자를 지속하고 있다.

에어리퀴드 관계자는 “2010년께 국내에서 시작한 반도체 재료 사업이 기술 고도화, 고객사와의 협력 등으로 지속 성장하고 있다”며 “매년 두 자릿수 이상 성장률을 기록할 것”이라고 전했다.

강해령기자 kang@etnews.com