강원도·춘천시, 한양대 EUV-IUCC와 방사광가속기 유치 협약

최문순 강원도지사와 안진호 EUV-IUCC센터장, 이재수 춘천시장이 다목적 방사광가속기 유치를 위한 업무협약을 체결한 뒤 기자들의 질의에 응답하고 있다. 사진출처=강원도
최문순 강원도지사와 안진호 EUV-IUCC센터장, 이재수 춘천시장이 다목적 방사광가속기 유치를 위한 업무협약을 체결한 뒤 기자들의 질의에 응답하고 있다. 사진출처=강원도

강원도와 춘천시가 다목적 방사광가속기 유치에 박차를 가한다.

강원도와 춘천시는 7일 강원도청에서 한양대 EUV-IUCC와 업무협약을 체결했다. EUV-IUCC는 극자외선(EUV) 산업 생태계 구축을 위해 한양대를 중심으로 포항가속기연구소, 인하대, 전자부품연구원과 삼성전자 등 10여개 기업이 회원사로 참여하고 있는 연구기관이다.

이번 협약으로 강원도는 다목적 방사광가속기 구축사업 유치에 행정력을 결집하기로 했다. 수도권과 40분대 출퇴근이 가능하다는 강점을 살려 수도권 소재 산업계 호응을 유도하는 등 유치를 위한 대내외 활동에도 적극 협력할 계획이다.

방사광가속기 사업을 통해 남춘천IC 일원에 EUV 관련 소재, 부품, 검사 장비 산업 생태계를 구축하기로 했다. 이를 위해 가속기 유치 시 정부가 초기에 건설하는 빔라인 외 EUV 전용 빔라인과 기업 지원센터 등을 건립한다는 방침이다.

오는 2028년 운영을 목표로 6년간 1조원대 사업비가 투자되는 방사광가속기는 전자를 빛의 속도로 가속해 발생하는 X선을 이용해 사람의 눈으로 볼 수 없는 물질의 기본 입자를 분석, 관찰하는 초정밀 대형 연구 시설이다.

이를 통해 반도체를 포함한 소재산업 첨단기술과 신제품을 개발하는데 큰 성과를 낼 수 있다. 10나노 이하 미세공정 위한 EUV 노광기술 필수장비는 네덜란드 ASML사가 독점하고 있다. 방사광가속기에서도 EUV광원 개발이 가능하다.

최문순 강원지사는 “방사광가속기 구축사업은 국가 과학기술의 도약과 미래 성장동력을 창출해 국가 경쟁력을 제고할 절호의 기회”라며 “모든 역량을 모아 춘천에 이 사업을 유치할 수 있도록 총력을 기울이겠다”고 말했다.

강원=강우성기자 kws9240@etnews.com