어플라이드 머티어리얼즈는 신형 반도체 식각장비 '센트리스 Sym3 Y'를 출시했다고 24일 밝혔다.
식각은 웨이퍼에서 필요한 회로 패턴을 뺀 나머지 부분을 제거하는 공정을 뜻한다.
어플라이드는 신제품이 핀펫(FinFET)과 게이트올어라운드(GAA) 구조(아키텍처)에 대응할 수 있는 장비라고 설명했다.
GAA는 전류가 흐르는 통로인 원통형 채널(Channel) 전체를 게이트(Gate)가 둘러싸고 있는 것이다. 기존 핀펫(FinFET)보다 전류 흐름을 세밀하게 제어할 수 있어 차세대 반도체에 적극 활용될 것으로 전망되고 있다.
어플라이드는 신형 장비가 3D낸드, D램, 로직에서 고도로 집적된 고종횡비(high-aspect-ratio) 구조 생성을 위해 요구되는 소재, 프로파일 제어 등을 지원한다고 덧붙였다.
Sym3 Y 시스템은 웨이퍼가 지나갈 때마다 축적될 수 있는 식각 부산물을 빠르고 효율적으로 제거하고, 핵심 챔버 부품을 보호하는 독점 코팅 소재를 사용해 결함을 낮추고 수율을 개선한다고 어플라이드는 강조했다.
윤건일기자 benyun@etnews.com
