광주과학기술원(GIST·총장 김기선)은 엄태중·손익부 고등광기술연구소 박사팀이 중소벤처기업부가 지원하는 '테크브릿지 활용 상용화 기술개발사업'에 선정됐다고 17일 밝혔다.
엄박사는 국내 반도체 기업 대부분이 해외기업에 의존해온 수십 나노미터의 금속 박막 두께를 측정할 수 있는 레이저 기술을 반도체 공정 장비 개발에 활용하는 연구를 추진한다. 손 박사는 고속 대면적 레이저 가공이 가능한 소형 레이저 스캐너와 고속 정밀 가공 장치를 개발한다.
엄태중 박사는 “레이저 광기술의 활용이 가능한 원천 기술을 확보하고 국내 기업이 반도체 관련 장비 산업의 경쟁력을 높이도록 하는 것이 목표”라고 말했다.
한편, 테크브릿지 활용 상용화 기술개발은 대학과 연구소 소재·부품·장비 분야 핵심기술을 중소기업에 이전한 뒤 후속 상용화를 지원하는 사업이다.
광주=김한식기자 hskim@etnews.com
