국가과학기술연구회(NST·이사장 원광연)는 2020년도 융합연구단사업으로 국가핵융합연구소가 주관하는 '반도체 플라즈마 공정장비 지능화 기술개발 및 실증' 과제(플라즈마 공정장비 지능화 융합연구단)를 선정했다.
플라즈마 융합연구단에는 NST 소관 국가핵융합연구소, 한국과학기술연구원(KIST), 한국과학기술정보연구원(KISTI), 한국표준과학연구원과 7개 대학의 반도체 장비 산업 관련 연구인력 100여명이 참여한다. 참여 대학은 서울대, 부산대, 충남대, 전북대, 명지대, 가천대, 한국항공대다.
플라즈마 융합연구단에는 반도체 플라즈마 공정장비 지능화 기술 개발 및 실증을 최종 목표로 6년(3+3년) 간 440억 원이 투입되며, 오는 11월 1일부터 군산시에 위치한 국가핵융합연구소 플라즈마기술연구센터에서 연구를 진행한다.
플라즈마 융합연구단을 이끄는 윤정식 단장(국가핵융합연구소 플라즈마기술연구센터장)은 “반도체 제조 공정장비 지능화 기술에 대한 연구개발(R&D) 테스트 베드를 구축해 국산 장비의 글로벌 경쟁력을 높이고, 세계 시장 점유율을 확대해 나갈 것”이라고 밝혔다.
원광연 이사장은 “반도체 장비에 대한 해외 의존도가 높은 상황에서 플라즈마 융합연구단이 국산 반도체 공정 장비의 경쟁력을 높이는 전환점이 되길 바란다”며 “군산시에 설치되는 융합연구단이 지역 내 장비산업의 허브로서 지역산업혁신과 국토균형발전을 이룰 수 있도록 지원을 아끼지 않을 것”이라고 말했다.
대전=김영준기자 kyj85@etnews.com
