램리서치코리아는 오는 30일까지 나흘간 서울 삼성동 코엑스에서 열리는 제22회 반도체 대전(SEDEX 2020)에 참가한다고 27일 밝혔다.
램리서치는 이번 전시회에서 40년 간 이어온 기술 혁신과 사회 공헌 활동, 한국 반도체 산업 생태계 발전을 위한 노력 등을 소개한다.
램리서치는 올해에도 반도체 장비 업계에서 주목할 만한 다양한 기술을 선보였다. 극자외선(EUV) 노광 공정에서 증착 기술로 EUV 포토레지스트 박막 기술을 만드는 드라이 레지스트 기술을 ASML-IMEC과 공동으로 개발한 것을 비롯, 혁신적인 센서 기술로 생산성을 대폭 높인 센스아이 플랫폼, 램리서치 자사 기술인 '아이스필'이 탑재된 첨단 원자층 증착(ALD) 스트라이커 FE를 연이어 발표한 바 있다.
회사는 국내 반도체 생태계 발전을 위해서도 많은 노력을 기울였다. 지난 7월 램리서치 국내 생산기지인 램리서치매뉴팩춰링코리아는 국내 6개 협력사와 생산성을 높이고 수율을 확대하기 위한 상생 협력 협약을 체결했다. 경기 오산에 위치한 램리서치매뉴팩춰링코리아는 지난해 5월에 국내 생산 5000호기를 출하한 데 이어 올해 6월에는 6000호기 생산을 달성하며 국내 생산 장비 출하량을 지속해서 늘리고 있다.
램리서치는 이번 전시회에서 국내에서 생산되는 반도체 모듈 중 하나인 '코로너스 플라즈마 베벨 클린' 모듈을 전시해 소개할 예정이다.
또 회사는 29일 한국반도체산업협회가 주최하는 제15회 반도체 장학증서 수여식에 참석해 반도체 전공 학생 두 명에게 램리서치 장학 증서를 수여한다. 램리서치는 2007년부터 반도체 산업 분야의 우수 인재를 발굴하고 육성하기 위해 한국반도체산업협회의 장학 사업에 꾸준히 참여해 왔다. 이러한 공로를 인정받아 반도체산업협회로부터 장학사업 특별 감사패를 수상한다.
김성호 램리서치코리아 대표이사는 "램리서치는 혁신적인 웨이퍼 제조 장비 및 서비스로 반도체 제조 기업들이 더 작고 빠르며, 더 우수한 성능의 전자소자 개발을 가능하도록 지원했다"며 "램리서치는 반도체 장비 제조의 현지화를 통한 반도체 장비 및 부품 국산화, 국내로의 연구개발(R&D) 역량을 확장해 더 가까운 곳에서 더 빠르게 고객을 지원하며 국내 반도체 산업 생태계의 성장과 발전을 위해 노력할 것 "이라고 말했다.
강해령기자 kang@etnews.com