국무총리표창을 받은 권기청 광운대학교 교수는 반도체 공정 소재·부품·장비(소부장) 분야 전문가로서 26년 7개월 동안 국내 반도체 산업 기술 발전에 기여했다. 그는 에스엔텍, SK하이닉스, 한국표준과학원 등과 함께 실시간 반도체 공정 상태 진단을 위한 세계 최초 웨이퍼형 공정 플라즈마 진단 센서 시스템을 개발했다.
또 그는 독창적인 플라즈마 진단 기술로 106여건 특허 창출과 9건의 기술 이전을 했고, 석사 19명, 박사 3명 등 반도체 소부장 미래 인력 양성에 큰 노력을 기울여왔다.
강해령기자 kang@etnews.com