나노종합기술원(원장 이조원)은 내년부터 소재·부품·장비 분야 중소기업을 대상으로 12인치 웨이퍼 테스트베드 서비스를 제공한다고 15일 밝혔다.
지난해부터 오는 2022년까지 총사업비 450억원을 투입, 반도체 장비·시설 구축, 공정 개발 등을 추진하고 있다. 일본의 수출 규제에 대응, 해외 의존도가 높은 반도체 소재·부품·장비의 국산화를 지원하기 위해서다. 이를 위해 1000㎡ 규모 청정실(팹)에 불화아르곤 이머전 스캐너, 증착·식각 장비 등 10종의 핵심 설비를 도입, 테스트베드를 구축했다.
이머전 스캐너는 반도체 공정에서 빛을 쪼여 패터닝 하는 반도체 소재 포토레지스트를 평가하는 장비로 가격이 1000억원에 달한다. 우리 기업들은 일본의 수출 규제 이후 벨기에 나노전자연구센터인 아이멕(IMEC)을 통해 검증 시험을 하고 있지만, 멤버십 가입비 이외에 시간당 1000~2000만원 이상 비용을 지불해야하는 탓에 이용에 한계가 있었다.
반면에 이번 나노종기원 테스트베드 구축을 통해 기업이 원하는 시간에 예약, 작업을 진행할 수 있게 됐다. 비용도 50% 이상 낮은 가격으로 부담하게 돼 기업들로부터 적극적인 활용이 기대된다. 실제 동진쎄미켐 등 기존 8인치 웨이퍼 테스트베드 지원을 받았던 기업들 중심으로 내년 1분기 예약이 몰린 상황이라고 나노종기원은 설명했다.
나노종기원은 앞으로 중소·중견기업의 반도체 핵심 소재의 성능 평가를 지원하고, 반도체협회와 함께 대기업 등 수요기업 연계도 지원할 계획이다. 이와 함께 20㎚급 다층 패터닝 공정 테스트 시설을 추가, 더 작지만 집적도 높은 반도체 생산을 도울 계획이다.
이조원 원장은 “올해 중소기업의 원내 장비 이용 건수는 3만 4357건, 서비스 제공 건수는 1만 6738건으로 이용률이 매년 늘고 있다”며 “시스템 반도체 개발 지원, 반도체 공정 기반 나노메디컬 나노메디컬 디바이스 개발, 사물인터넷(IoT) 센서 제품화 지원 등으로 기업현장의 애로 기술을 해결하는데 힘쓰겠다”고 말했다.
충청=강우성기자 kws9240@etnews.com