글로벌 반도체 장비 부품업체 'MKS 인스트루먼트'가 대전에 있는 MKS 파워솔루션즈아시아(PSA) R&D센터 확장을 검토한다. 회사 핵심 기술인 반도체 장비용 고주파(RF) 기술 역량을 강화하는 것이 목표다.
16일 업계에 따르면 MKS PSA는 회사가 위치한 대전광역시 모처에 새로운 R&D 공간을 마련 중이다. 이로써 MKS PSA는 기존보다 60%가량 늘어난 연구설비 규모를 갖추게 될 예정이다.
회사는 자사 반도체 장비용 RF 제품 역량과 기술 성장, 최근 국내에서 일어나는 소재·부품·장비 공급망 다변화 움직임 등에 적극 대응하기 위해 공간을 확장한다.
미국 앤도버에 본사를 둔 MKS는 진공 게이지, 제너레이터, 매처 등 반도체 공정 및 계측 설비에 들어가는 핵심부품으로 연간 2조5000억원대 이상 매출을 올리는 글로벌 부품 업체다. 특히 이 회사의 파워 솔루션 사업부는 RF 기술을 활용한 반도체 장비 핵심 부품인 제너레이터와 매처를 만든다.
제너레이터와 매처는 반도체 장비 안에서 자동차 엔진 같은 역할을 한다. 반도체 웨이퍼에 얇은 막을 씌우는 증착, 회로 모양을 깎아내는 식각 공정 등 반도체 핵심 공정에 활용되는 '플라즈마'를 만들기 위해 전력을 생성하고 반도체 장비로 전달한다. 이들이 전달하는 전력 수준이 더 높을수록 깊고 균일한 미세 회로를 만들 수 있다.
MKS는 성장 중인 아시아 반도체 제조사와 장비 회사에 대응하기 위해 2014년 한국 RF업체 플라즈마트를 인수, MKS PSA를 출범시키며 아시아 시장 파워 솔루션 사업을 강화했다.
이곳에서 차세대 식각 시장에서 반드시 필요한 다중 주파수 제너레이터 등 MKS 핵심 제품을 직접 설계하고 생산한다.
MKS PSA는 아시아 반도체 고객사들의 만족도를 높이면서 나날이 덩치를 키우고 있다. 특히 지난해 회사는 설립 이후 최고 매출 실적을 달성했다.
한성호 MKS PSA 대표는 “2017년 말 취임 당시 제시한 '매출을 5년내 두 배 성장시키겠다'는 목표를 이미 넘어섰다”고 말했다.
MKS PSA는 새로운 연구 공간에 RF 기술 개발에 필요한 각종 인프라를 새롭게 갖추면서 R&D 인력도 늘려나가 신규 기술 수요에 대응할 방침이다.
삼성전자 반도체연구소 출신인 한성호 대표는 2007년 표준과학연구소(KRISS)의 국책과제로 반도체 공정 진단 생태계를 조성한 경험을 살려, 대전광역시 내에도 RF 기술 기반 진단 기술 생태계를 육성하겠다는 포부다. 대전시의 우수한 기술 인력 인프라와 연구 설비를 활용한다면 금세 성장할 수 있을 것이라는 생각이다.
한성호 대표는 “외국계 기업도 국내 반도체 생태계 육성에 기여할 수 있다는 것을 보여주고 싶다”며 “MKS PSA가 국내에서 글로벌 소부장 업체로 거듭나기 위한 우수한 외국 인력 영입과 여성 인력 채용을 늘려갈 것”이라고 밝혔다.
강해령기자 kang@etnews.com