국내 기업이 일본이 국내 시장 99% 이상 독점 공급해 온 반도체용 쿼츠도가니 개발에 성공했다. 조만간 상용화가 가능할 것으로 전망된다.
에너지 전문 기업 SGC에너지(대표 이복영·박준영·안찬규)는 최근 직경 24인치 반도체용 쿼츠도가니를 개발, 국내 대기업 A사에서 현장 적용을 위한 성능 테스트를 하고 있다고 4일 밝혔다.
쿼츠도가니는 반도체 웨이퍼 제작에 필요한 반도체 잉곳을 만들기 위한 내화물이다. 반도체 산업에 없어서는 안 될 중요한 소재 가운데 하나다. 수 나노미터(㎚) 미세 공정을 다루는 반도체용 잉곳은 실리콘 잉곳 가운데에서도 초고순도 잉곳을 사용한다. 잉곳을 원판형 웨이퍼로 가공한 후 웨이퍼 위에 다수의 동일 회로를 만들어 반도체 집적회로(IC)를 만든다. 반도체 수요가 급증하면서 쿼츠도가니 수요도 크게 늘고 있지만 30인치급 쿼츠도가니는 전량 수입에 의존하고 있는 실정이다.
SGC에너지는 지난해 8월부터 한국산업기술평가관리원(KEIT) 정봉용 PD가 기획한 '반도체용 직경 30인치급(32-36인치) 제조기술 개발' 과제를 통해 SK실트론, 한국세라믹기술원, K-TECH, 다원시스, 3S코리아, 랜코, RIST, 고등기술연구원 등과 공동연구를 진행하고 있다. 오는 2023년 말까지 30인치급 반도체용 쿼츠도가니 제조기술을 확보하는 것이 이번 과제의 목표다.
SGC에너지는 지난달 과제 1차연도 사업을 완료하면서 24인치 반도체용 쿼츠도가니 개발에 성공했다. 핵심 제조기술 국산화로 품질면에서도 해외 선도기업과 동등한 수준에 올랐다는 평가를 받고 있다.
SGC에너지는 향후 2년 내 32인치 반도체용 쿼츠도가니도 국산화할 계획이며, 오는 2023년 말까지 36인치 반도체용 쿼츠도가니 개발도 완료한다는 목표다.
박준영 SGC에너지 대표는 “고순도 반도체용 쿼츠도가니는 반도체 시장이 급격히 성장하고 있어 수요가 급증할 것으로 기대하고 있다”면서 “일본이 독점해 온 30인치급 고순도 쿼츠도가니까지 꼭 국산화에 성공, 국내 반도체 생태계를 완성하고 수출에 기여하겠다”고 말했다.
한편 SGC에너지는 국내에서 유일하게 쿼츠도가니 제조기술을 보유한 쿼츠테크를 지난해 흡수 합병했다.
정재훈기자 jhoon@etnews.com
