삼성전자는 세계 물의 날을 맞아 반도체 공장인 평택캠퍼스 그린동 시설 폐수처리 노하우를 공개했다고 21일 밝혔다.
평택캠퍼스 수처리를 담당하는 그린동은 서울월드컵경기장 잔디구장 면적의 약 3.7배에 해당한다. 이 설비에서 하루 평균 약 7만톤의 폐수를 정화하고 있다. 워터파크 '캐리비안베이' 하루 담수량의 약 4.7배 규모다.
평택캠퍼스 그린동은 최첨단 폐수처리 설비를 갖추고 있다. 반도체 공정에서 발생하는 폐수는 성분에 따라 크게 6가지로 나뉘는데 이중 알칼리성 폐수를 처리하는 과정에서 화학약품인 과산화수소 대신 활성탄을 이용해 필터링하는 친환경 공법을 적용했다.
미생물을 활용해 질소를 제거하는 '유기 처리' 과정은 폐수처리의 핵심 단계로, 그린동에서는 고위험 약품인 메탄올을 사용하는 대신 '복합 유기탄소원'으로 대체했다. 정화를 마친 물을 고덕 폐수종말처리장까지 방류하는 2.6㎞의 방류관도 별도의 산소 농도 관리와 함께 기계실처럼 도장해 안전한 시설을 구축했다. 폐수처리에 필요한 약품이 이동하는 배관에는 스크린도어를 설치해 작업자의 안전도를 높였다.
중앙통제실(CCR)은 폐수 정화부터 방류까지 모든 폐수처리 과정과 방류한 물의 품질을 검사할 수 있다. 이곳 업무는 약 97%까지 자동화돼 운영된다.
삼성전자 관계자는 “반도체 공정에서 발생한 폐수처리가 반도체 생산의 마지막 단계라는 생각으로 각별히 신경쓰고 있다”고 말했다.
강해령기자 kang@etnews.com