소부장R&D 최단기간 성과 도출...반도체 고온히터도 우리 손으로

국내 반도체 장비 업체가 정부의 소재·부품·장비 R&D사업을 통해 그간 전량 일본 수입에 의존해 왔던 반도체 장비용 고온히터 개발에 성공했다. 28일 경기도 안성시 미코세라믹스에서 연구원이 세라믹히터의 온도 특성 평가를 하고 있다.

이동근기자 foto@etnews.com