[기술독립강소기업]<3>영창케미칼 “EUV PR 등 차세대 반도체 소재 국산화”

영창케미칼은 반도체, 디스플레이, 친환경에너지분야 첨단소재 제조기업이다. 지난 20년 동안 반도체 공정재료 연구개발(R&D)에 적극 투자해 해외 의존도가 높은 핵심 반도체 소재를 국산화했다.

'국산화 1세대'로 꼽히는 영창케미칼은 '세계 최초' '국내 최초' 타이틀을 다수 보유하고 있다. 회사는 제1회 기술독립강소기업 대상에서 중기부장관상을 받았다.

영창케미칼 본사 클린룸에서 작업자가 12인치 리시우스 트랙(PR 코팅·현상 장비)을 이용해 반도체 웨이퍼 패턴을 만들고 있다.

2004년 세계 최초로 반도체 포토 공정용 린스액을 상용화한 곳도 영창케미칼이다. 2009년에는 국내 최초로 'i-line 광원용 네거티브형 포토레지스트(PR)'를 상용화했다. 2014년에는 더 높은 기술력이 요구되는 '불화크립톤(KrF) 광원용 PR'을 개발하고 상용화했다. i-line 광원용 네거티브형 PR 개발과정에서 레퍼런스가 없다보니 주변 의구심을 많이 받았다. 원료 샘플조차 쉽지 않았다. 그럼에도 '우리의 발자국이 길이 된다'는 일념으로 개발에 집중해 1년 만에 양산·공급에 성공했다. 최근에는 국내 최초로 반도체 공정용 케미컬 제품의 모든 공정에 클린룸 시스템을 도입하기도 했다.

환경·사회·지배구조(ESG) 경영에도 주력하고 있다. 2001년 창립된 영창케미칼은 20년째 무재해 기록을 이어오고 있다. 사업장 안전 진단·교육을 강화하고 조기 화재 감지 시스템을 도입했다. 독립적인 환경·안전조직을 운영하고 까다로운 안전관리를 전개하고 있다. 또 일찌감치 친환경사업에 주목, 2000년대 중반부터 각종 환경 보호 설비를 구축해 공정 과정에서 발생하는 온실가스 등의 배출을 최소화하고 있다.

영창케미칼은 국내외 반도체 케미칼 재료 제조사들과 경쟁한다. 회사는 기술 우위에 서기 위해 2008년 기업부설연구소를 설립하고 석·박사급 인재를 대거 영입, 매년 매출 5~10%를 연구개발(R&D)에 투자해 반도체, 초정밀 디스플레이 화학, 일반 소재 등 각종 신소재 개발에 역량을 집중하고 있다. 현재 반도체 소재뿐만 아니라 발광다이오드(LED), 액정표시장치(LCD), 태양전지(Solar Cell) 등 디스플레이, 친환경에너지 분야 첨단소재를 공급하며 사업 영역을 다각화했다.

지난해는 성주 산업 공단에 4공장을 증설했다. 약 200억원이 투입된 4공장은 제품 생산의 모든 공정을 자동화했을 뿐만 아니라, 항온·항습·내진 등 안전 설계가 적용돼 최첨단 제품 생산의 전초 기지 역할을 한다. 4공장 완공으로 PR, 슬러리, 웨트케미칼 등 생산능력이 크게 향상될 것으로 기대된다. 올해는 PR 핵심 소재인 레진(Resin·고분자) 신규 설계·개량과 극자외선(EUV) 린스 개발에 주력하고 있다.

영창케미칼 본사 사옥 전경

◇영창케미칼 '결단의 순간'은…

올해 창립 20주년을 맞이한 영창케미칼은 2006년 반도체 분야에 진출한 것이 가장 큰 도전이자 기회였다. 테스트 기계 한 대 값이 200~300억원에 달해 중소기업 입장이 감당하기 버거운 수준이었고 당시 반도체 업계 원재료 국산화율은 30%에 불과해 재료를 경쟁 업체에서도 직접 구해와야 했다. 테스트에 필요한 수입산 시약은 개당 가격이 수백만원에 달했다.

이승훈 영창케미칼 사장은 “반도체는 미세 공정화가 워낙 빠른 분야라 재정적·기술적 부담이 상당하다”면서 “다만 진입장벽이 높아 부가가치도 큰 만큼 앞으로도 반도체 소재 시장에 집중하겠다”고 말했다.

영창케미칼은 탄소 코팅막, 린스액 등은 이미 세계적 수준의 기술력을 확보해 납품을 진행하고 있지만, 불화아르곤(Arf), EUV PR 등은 아직 연구가 필요하다. 특히 EUV PR은 2019년 일본 정부의 수출 규제 이후 소재 국산화에 어려움을 겪고 있는 분야다.

이 사장은 “반도체 노광 공정의 핵심 소재 PR은 앞으로도 꾸준히 수요가 늘 것으로 예상되는 가운데 EUV PR은 일제가 90%를 장악하고 있다”면서 “중장기적으로 EUV PR를 포함해 EUV 린스, 슬러리, ArF 등 차세대 반도체 소재를 국산화하겠다”고 말했다.

이준희기자 jhlee@etnews.com