SK하이닉스는 3일 '제9회 산학연구과제 우수발명' 포상을 했다고 밝혔다.
최우수상은 이호준 부산대 전기공학과 교수가 '이온 소스 헤드 및 이온 주입 장치' 특허로 받았다. 이 특허는 고진공, 저유량에서 고주파 플라즈마를 생성할 수 있어 기존 대비 플라즈마 효율을 높이는 장점이 있다. 이온 소스 사용주기를 2배 이상 개선, 비용도 절감한다.
우수상은 노삼혁 울산과학기술원 교수, 장려상은 박찬혁 이화여대 교수, 노원우 연세대 전기전자공학부 교수, 전정훈 성균관대 반도체시스템공학과 교수가 수상했다.
SK하이닉스는 산학협력 대학교가 연구과제 수행과정에서 출원한 특허 중 우수특허를 선별, 포상하고 있다.
김지웅기자 jw0316@etnews.com
