세계 최대 반도체 장비사 ASML이 지난해 극자외선(EUV) 노광 장비를 42대 납품한 것으로 나타났다. 초미세 공정 공급이 늘면서 지난해 사상 최대 실적을 기록했다.
ASML은 지난해 매출액 186억 유로, 영업이익 98억유로를 기록했다고 19일 밝혔다. 매출은 전년 대비 33.1% 늘었고 영업익은 44% 증가했다. 매출과 영업익 모두 역대 최대치다. 영업 이익률은 53%에 달했다.
ASML은 첨단 나노 공정에 사용되는 EUV 노광 장비를 독점 공급한다. 삼성전자와 SK하이닉스, TSMC, 인텔 등 세계 반도체 업체들은 이 장비 없이는 첨단 반도체 칩을 생산할 수 없다. 노광 장비 대당 가격만 1500억원을 웃돈다.
ASML은 지난해 42대의 EUV 장비를 공급한 것으로 나타났다. TSMC 등 대만 반도체 업계에는 전체 44%, 삼성전자, SK하이닉스이 이끄는 한국에는 35% EUV를 납품했다. 중국 16%, 미국 5%, 일본 1%를 차지했다.
ASML은 인텔과 EUV 신장비 하이 NA 장비 공급 등 올 매출이 작년 동기 대비 20% 성장할 것으로 기대했다. ASML 관계자는 “베를린 공장 화재 여파가 반영됐다”면서도 “화재 사건이 올해 매출에 큰 영향은 없을 것”이라고 설명했다.
김지웅기자 jw0316@etnews.com
