극자외선(EUV) 노광 장비를 전 세계 독점 공급하고 있는 ASML이 초미세 회로 구현을 위한 '하이퍼 NA' 장비를 개발하고 있다고 밝혔다. 하이퍼 NA EUV는 현재 상용화된 '하이 NA' EUV 대비 렌즈 개구수(NA)가 높은 장비다. 더 작은 영역까지 빛을 조사

2024-10-16 16:03