우리나라가 반도체를 중심으로 한 첨단기술 허브로 진화하고 있다. 글로벌 반도체 장비 시장에서 60% 이상을 차지하는 빅4 업체가 모두 한국에 R&D 투자를 확대하고 있기 때문이다. 반도체 전공정 핵심 장비인 노...

2022-11-15 15:27

그린광학이 반도체 노광장비인 극자외선(EUV)용 블랭크 마스크 석영 기판 연마 기술을 개발했다. EUV 블랭크 마스크는 반도체 웨이퍼에 초미세 회로를 새길 때 사용하는 포토마스크 원재료다. 일본 호야, 아사히글라...

2022-10-10 11:11