정부가 반도체 산업에 사용되는 고압가스 안전 혁신 과제 11개를 개선한다. 차세대 반도체 극자외선(EUV) 장비 국내 도입 허용 기준을 바꾸고 방호벽 관련 다양한 설치 기준을 허용한다. 반도체 산업 경쟁력 강화를 위한 규제가 다수 개선될 전망이다.
산업통상자원부는 이 같은 내용을 담은 반도체 산업에 사용되는 고압가스에 대한 안전혁신 과제 개선 방안을 발표했다.
산업부는 이번에 안전혁신 과제 11개를 선정하고 향후 개선하기로 했다. 이 과제는 반도체 관련 단체, 기업과 간담회·현장방문 등을 통해 도출했다. 규제 개선시 국내 반도체 산업 경쟁력을 높일 수 있다.
산업부는 우선 '차세대 EUV 장비 국내도입 허용기준'을 개선한다. 현재 슈퍼듀플렉스강 등 신소재 재질 배관을 사용한 차세대 EUV 장비가 개발될 예정이지만 신소재 배관에 대한 고압가스법령 내에 사용규정이 없어 국내 도입이 불가능했다. 이번에 규제를 개선하면서 슈퍼듀플렉스강 등 미국기계학회(ASME)에서 인정받은 재료 배관도 고압가스 배관사용이 가능하도록 안전성을 검토한 후 가스상세 기준을 개정해 국내 도입이 가능하도록 한다.
산업부는 '방호벽 관련 다양한 설치기준'도 허용한다. 반도체 공장은 바닥면이 얇은 경량화된 복층 건물 구조로 깊이 묻어야 하는 기존 방호벽 지주 고정 방법으로는 지주를 설치하기 힘들다. 방호벽도 두꺼운 콘크리트 재질만 설치할 수 있어 공장 증설에 어려움이 있었다. 앞으로는 가스 상세기준에서 구조 기술사 등이 안전성을 확인했을 때 케미컬 앵커 등 다양한 지주 설치 방법을 허용했다. 방호벽도 기존 방호벽의 재질과 동등한 안전수준이면 강판제 등 다양한 재질의 방호벽을 허용할 수 있도록 했다.
또 '공장 내부 저장용 실린더 캐비닛 기준'도 개선한다. 저장용 실린더 캐비닛은 공장 내부에 설치 시 설치 장소의 지붕을 가벼운 불연재로만 사용해야 하기 때문에 복층으로 공장을 증설할 때 가벼운 지붕은 상층 바닥이 돼 하중을 견디기 어려워 동 캐비닛을 공장에 설치하기 힘들었다. 산업부는 이번에 전문가 검토 등을 거쳐 저장용 실린더 캐비닛에 대한 안전성을 검증 후 지붕을 가벼운 불연재료로 사용하도록 하는 의무 규정을 면제하는 기준을 마련했다.
박일준 산업부 2차관은 “반도체 초강대국 달성을 촉진하고 지원하는 기폭제가 되도록 이번에 선정된 혁신규제 과제를 신속히 추진하겠다”면서 “앞으로도 반도체 산업뿐만 아니라 에너지 분야 안전과 관련된 타 산업에서도 안전 확보와 산업 발전 균형을 도모하는 규제혁신 과제를 지속 발굴하겠다”고 말했다.
변상근기자 sgbyun@etnews.com
