[테크코리아 우리가 이끈다] 한국산업기술평가관리원(KEIT)

파크시스템스 원자현미경
파크시스템스 원자현미경

한국산업기술평가관리원(KEIT)은 국가 성장동력을 확보하기 위한 소재·부품·장비(소부장) 핵심기술을 발굴하는 데 집중하고 있다.

KEIT는 국내 산학연에 산업기술 관련 연구자금을 지원해 국가경쟁력을 강화하기 위한 목적으로 2009년 설립된 공공기관이다. 매해 3조원 규모 산업기술 연구개발(R&D) 자금을 투자하고 관리한다. 반도체, 이차전지, 미래 모빌리티, 바이오, 소부장 등 국내에서는 유일하게 산업 전 분야에 대한 연구개발(R&D)을 지원한다.

KEIT는 최근 반도체와 이차전지 핵심소재 등을 지원하면서 성과를 내고 있다.

KEIT가 지원한 파크시스템스는 우수기업연구소육성사업(ATC)으로 30나노미터(㎚) 수준 결함을 측정하는 반도체 공정 결함분석 원자현미경을 개발했다. 삼성전자, SK하이닉스, TSMC 등이 주요 고객이다. 산업용 원자현미경 부분에서 세계 시장 점유율 1위 기업으로 올라섰다. 반도체 공정은 ㎚ 단위로 미세해지면서 그에 걸맞은 검사 장비 수준도 높아진다. 파크시스템스는 이에 대응해 기술을 성공적으로 개발했다.

파크시스템스는 이번 기술 개발로 수십 ㎚ 이하 크기 결함 관리 공정 활용성을 높일 것으로 기대했다. 파크시스템스가 개발한 시스템은 지금까지 정확하게 분석되지 않는 결함에 대해서 분석을 진행하는 새 시스템이다. '나노 디펙트(nano defect)' 측정이라는 새 시장을 개척할 수 있다. 계속해서 증가하는 나노 기술 산업 성격상, 반복성과 재현성, 인라인 환경 적합성, 자동화 등 산업계에서 요구하는 조건을 충족하는 기술을 개발할 수 있다. 고부가가치 블루오션 시장을 창출할 수 있을 것으로 기대된다.

SK넥실리스가 개발한 동박 제품
SK넥실리스가 개발한 동박 제품

SK넥실리스가 개발한 동박(전지박) 또한 KEIT가 지원한 대표 성과 사례다. 전기차용 이차전지 핵심 소재인 동박은 음극 집전체 역할을 하는 얇은 구리막이다. 동박이 얇을수록 배터리 공간을 더 많이 확보할 수 있어 고용량과 경량화에 유리하다.

SK넥실리스는 전략적핵심소재기술개발사업 일환으로 선정돼 개발된 동박 기술을 개발했다. 이차전지 전지용량 증가와 이에 따른 6마이크로미터(㎛) 이하 얇은 동박 요구에 부합하고자 무결점 광폭, 장조장, 초극박 제조 기술을 확보했다. 이번에 개발된 동박은 세계 최초로 4㎛ 두께로 양산할 수 있다. SK넥실리스는 이 분야에서 세계 최고 수준 시장 점유율을 기록하고 있다.

KEIT는 앞으로도 반도체·배터리 등 국가첨단전략산업 경쟁력 확보를 위한 지원을 이어간다. 지난 6일 취임한 전윤종 KEIT 원장은 “미국과 중국을 중심으로 산업기술을 전략 자원화하려는 경제적 패권경쟁이 심화되는 가운데 반도체, 배터리 등 국가첨단전략산업 경쟁력 확보를 위한 투자, 기후환경 변화에 대응한 탄소중립 R&D를 강화하겠다”고 밝혔다.

변상근기자 sgbyun@etnews.com