SK하이닉스가 반도체 공정에 인공지능(AI) 솔루션을 도입해 생산 운영 효율성과 수율을 개선하는 효과를 거뒀다고 10일 밝혔다.
회사는 가우스랩스가 만든 가상 계측 AI 솔루션 '판옵테스 VM'을 지난해 12월부터 양산 팹에 도입했다.
가우스랩스는 SK하이닉스가 2020년 설립한 미국 실리콘밸리 소재 AI 소프트웨어(SW) 회사다. 판옵테스 VM은 센서 데이터를 활용해 제조공정 결과를 예측하는 솔루션이다.
SK하이닉스는 박막 증착 공정에 판옵테스 VM을 도입했다. 웨이퍼 위 박막 두께와 굴절률은 반도체 품질과 직결되는데, 미세한 박막 계측에는 많은 시간과 자원이 필요하다. 전수 계측도 어렵다.
SK하이닉스는 판옵테스 VM을 통해 분석된 데이터 결과값을 고급공정제어(APC)와 연동했다. 그 결과 산포(제품 품질 변동 크기)를 평균 21.5% 개선하고 수율을 향상했다고 설명했다. 또 가상 계측 모델로 100% 전수 검사와 같은 효과를 얻었다고 덧붙였다.
SK하이닉스와 가우스랩스는 박막 증착 공정 외 다른 공정에도 판옵테스 적용을 확대하는 방안을 검토 중이다. 김영한 가우스랩스 대표는 “AI 기술을 통해 제조 현장에 큰 효과와 가치를 제공할 수 있도록 제품을 지속 개발할 것”이라고 말했다. 김영식 SK하이닉스 제조·기술 부사장은 “반도체 개발과 생산 전반에 AI 기술을 접목해 기술 우위를 확보하겠다”고 말했다.
송윤섭기자 sys@etnews.com
