전자현미경 전문기업 코셈(대표 이준희)은 단면 및 표면 폴리싱이 가능한 고성능 이온 밀러를 결합 주사전자현미경(CP-SEM) 상용화에 박차를 가하고 있다고 18일 밝혔다.
CP-SEM은 앞서 코셈이 개발한 시료 전처리 이온 밀러(CP-8000+)와 주력제품 주사전자현미경(SEM-EM30)을 결합한 장비로 시료를 대기에 개방하지 않고 시료가공과 분석할 수 있는 융합 장비다.
CP-SEM은 △아르곤 이온 빔을 가속전압 10㎸ 이상으로 가속해 표준시료(Si) 단면 식각을 1000㎛/h 이상 달성할 수 있도록 집속하는 기술 △시료 가공 위치와 전자현미경 분석 위치를 자동으로 일치시킬 수 있는 자동 시료 이송장치 기술 △대기 비개방 상태에서 시료를 가공하고 분석할 수 있는 통합 시스템 기술 등을 포함하고 있다.
이는 최근 주목받는 이차전지 산업에 적극 대응할 수 있는 기술이다.
이차전지 산업은 양극, 음극, 전해질, 분리막 등 산소 및 수분에 반응성이 높은 소재가 많이 활용되는데 CP-SEM을 통해 시료 제작에서 분석까지 진공 분위기에서 반응 없이 원상태 동작을 정확히 규명하고 분석할 수 있다.
또 대기 비개방으로 가공 및 분석이 가능한 장비는 현재 듀얼 빔 시스템이 유일하지만 가공 단위가 수십 마이크로미터(㎛)로 제한적이다. 반면 CP-SEM은 밀리미터(㎜) 단위 시료를 가공하고 분석할 수 있어서 완전히 새로운 분석을 가능하게 한다. 이에 따라 제품이 상용화되면 세계 최초 제품이라는 타이틀을 얻게 된다는 것이 코셈 측 설명이다.
김용주 코셈 부사장은 “CP-SEM 상용화가 마무리되면 전량 수입에 의존하고 있는 듀얼 빔 시스템을 대체하는 세계 최초 융합제품이 될 것”이라며 “CP-SEM은 제한적 시장에 머물러 있던 코셈이 추가 시장 개척 및 매출 증대를 가능케 하는 혁신제품이 될 것”이라고 말했다.
대전=이인희기자 leeih@etnews.com
