자이스 코리아가 다음 달 1일부터 3일까지 서울 강남구 코엑스에서 열리는 '세미콘 코리아 2023'에 참가해 반도체 솔루션을 선보인다. 176년 역사의 독일 광학기업 칼 자이스는 AMSL에 극자외선(EUV) 노광장비 핵심 부품인 광학렌즈를 공급하고 있다.
자이스 코리아는 이번 세미콘 코리아에서 영역이미지측정시스템(AIMS) EUV, 3D 단층촬영 계측 장비 등 EUV 공정에 활용되는 포토마스크 기술을 공개한다. AIMS EUV는 영역 이미지 기술로 EUV 포토마스크를 검증하고 이미지를 분석과 데이터 처리를 돕는다. 3D 단층촬영 계측장비는 집속이온빔(FIB)을 단층으로 분석해 나노 단위 반도체 패턴 정확도를 높여준다. 주사전자 현미경과 패키징 분석 장비 등도 이번 행사에서 함께 전시한다.
정현석 자이스 코리아 대표는 “칼 자이스는 이번 행사를 통해 한국의 다양한 고객사와 돈독한 파트너십을 구축할 것”이라고 밝혔다.
송윤섭기자 sys@etnews.com
