웨이퍼 비파괴 검사장비도 국산화

국내 최대 규모의 반도체 전시회 '세미콘 코리아 2023'이 1일 서울 강남구 코엑스에서 열렸다. 참관객이 웨이퍼 검사장비 국산화에 성공한 오랩스 부스에서 산업용로봇과 고속 초음파 음향 현미경을 결합한 반도체 웨이퍼 검사용 자동화 비파괴 검사장비를 살펴보고 있다.

이동근기자 foto@etnews.com