테토스가 생산속도를 크게 개선한 마이크로 발광다이오드(LED) 디스플레이용 측면 배선 장비(스퍼터)를 개발했다고 2일 밝혔다. 이 장비는 유리기판을 양옆으로 이어붙이는 과정에서 기판 측면에 회로를 형성하는 것이다.
마이크로 LED 디스플레이는 마이크로미터(㎛) 단위 초소형 발광다이오드(LED)를 화소(픽셀)로 사용한 패널이다. TV용 패널 1개를 만드는 데 수천만개 LED가 사용된다. 이에 효율적인 제조를 위해 모듈을 만들고 이를 타일 붙이듯 이어 대형 디스플레이를 완성한다.
때문에 마이크로 LED 디스플레이 제조에서 중요한 작업이 '모듈 간 연결'인 데 각 모듈이 상하좌우로 연결돼 신호를 주고받을 수 있도록 측면 배선을 테토스 장비가 구현한다.
마이크로 LED 디스플레이는 인쇄회로기판(PCB) 방식과 유리기판 방식으로 만들어진다. 유리기판은 기판 틈새가 보이지 않는다는 게 장점이다.
테토스는 2020년 입체 스퍼터 장비를 개발했다. 이온 빔 표면처리를 거친 유리기판을 세우고 시드층, 전도층, 보호층 등 세 개 층을 진공챔버에서 증착한다. 진공 환경을 한 번만 조성하면 된다. 플라즈마 기반 장비는 각 금속을 입힐 때마다 3번씩 증착을 거친다. 진공상태를 총 9번 만들어야 한다.
테토스는 여기에 완전 자동화를 더했다. 입체 스퍼터 전체 공정을 자동화했다. 기존 장비는 기판 고정 장치 부착과 같은 전처리를 거친 후 진공 챔버에 유리기판을 투입했다. 반면 신장비는 전처리 공정 역시 진공 환경에서 자동으로 수행하고 바로 챔버로 들어간다. 기판을 투입하기 위해 진공을 해소하는 과정이 생략돼 생산속도가 6배 빨라졌다.
테토스는 신장비를 9월 글로벌 디스플레이업체에 공급한다고 밝혔다. 대당 가격이 30억원이다. 테토스 장비를 활용, 스마트워치와 가상현실(VR) 기기용 마이크로 LED 디스플레이를 제조할 계획으로 알려졌다.
테토스는 수출을 계기로 해외시장 진출에 속도를 낼 방침이다. 마이크로 LED가 프리미엄 TV를 중심으로 상용화되기 시작해 웨어러블 기기로 확대될 조짐을 보이고 있기 때문이다.
안우영 테토스 대표는 “마이크로 LED 시장이 확대되면 1000대 이상의 스퍼터 장비가 필요할 것”이라며 “기술력을 바탕으로 해외시장 공략에 박차를 가하겠다”고 말했다.
송윤섭기자 sys@etnews.com
