첨단표준물질 제조기업 킴스레퍼런스(대표 김경중)는 국내 기업 최초로 주사전자현미경(SEM)·원자힘현미경(AFM) 고배율 교정 및 선폭 측정분야 'KOLAS 공인표준물질' 생산기관으로 인정받았다고 19일 밝혔다.
KOLAS 공인표준물질 생산기관 인정은 산업통상자원부 산하 국가기술표준원에서 시행한다. 국가측정표준기관 측정 소급체계에 근거해 국제표준 ISO 17034에 따라 인증표준물질이 생산·관리되는지를 평가해 자격을 부여한다.
이번 인증으로 킴스레퍼런스는 고배율 교정용 인증표준물질, AFM 탐침 특성평가용 인증표준물질을 국가측정표준기관(한국표준과학연구원)과 동등한 기준으로 인증해 국내외 시판이 가능해졌다.
SEM과 AFM은 반도체와 디스플레이 등 첨단소자 제조공정으로 제작하는 나노 구조체 형상·크기를 측정한다. 인증표준물질로 정확하게 교정해야 고신뢰성 공정 관리가 가능하다.
킴스레퍼런스는 30여년간 축적한 표준연 인증표준물질 개발 노하우를 기반으로 2020년 창업한 연구원창업 기업이다. 단시간에 이룬 이번 인정으로 세계 최고 수준 인증표준물질을 공급하고, 산업현장의 첨단 측정 장비 측정 정밀도·신뢰성을 한층 높일 전망이다.
킴스레퍼런스 인증표준물질은 △일반 연구목적 현미경용 시편형 △반도체 등 첨단 산업체 생산 공정에 보급된 CD-SEM 및 AFM용 200·300밀리미터(㎜) 웨이퍼형 등이다. 표면평탄도와 나노 구조체 결함 비율 등 대부분 제원이 선진국 제품보다 높다.
또 개발된 인증표준물질을 이용한 배율교정법을 자체 개발해 특허 등록했으며 측정 결과를 입력하면 배율·오프셋이 자동 계산되는 전용 프로그램을 함께 제공해 더 정확하고 편리하게 장비를 교정할 수 있다.
김경중 대표는 “이번 성과 핵심은 미국·일본이 독점해 온 첨단 인증표준물질을 우리가 제작하고 품질 역시 이들 국가를 뛰어 넘었다는 점”이라며 “첨단 표준물질 수급 리스크를 해소하고 국산 현미경 성능과 차세대 반도체 소자 제작공정라인 측정 신뢰성을 향상할 것”이라고 말했다.
김영준기자 kyj85@etnews.com
