어플라이드 머티어리얼즈가 반도체 생산성을 2배 이상 끌어올릴 수 있는 '장비 플랫폼'을 개발했다. 증착·식각 등 공정에 맞춘 반도체 장비(시스템)를 구축할 수 있는 설비로, 기존 대비 화학물질 사용량을 30% 줄일 수 있다.
어플라이드는 31일 차세대 반도체 생산 플랫폼 '비스타라'를 발표했다. 비스타라 플랫폼은 반도체 제조 공정이 이뤄지는 진공 챔버를 장착, 식각 장비나 증착 장비로 활용할 수 있다.
신제품은 기존보다 진공 챔버 탑재 수(6개)를 두배 늘려 최대 12개까지 장착할 수 있다. 지금까지 반도체 장비 2대가 맡았던 공정을 한 플랫폼에서 실행할 수 있다는 의미다. 한 플랫폼 안에 식각용 혹은 증착용 챔버를 각각 장착할 수 있어 공정 속도로 끌어올리는 개념이다. 진공 챔버는 실제 공정이 이뤄지는 공간이다. 현재는 어플라이드가 제작한 챔버만 적용할 수 있지만 향후 타사 챔버까지 탑재하도록 호환성을 확보할 계획이다.
진공 챔버 확대로 사실상 2대 반도체 장비를 한대로 줄이는 효과를 얻을 수 있다. 이를 통해 공정에 사용하는 화학물질을 대폭 줄일 수 있다고 어플라이드는 설명했다. 기존 플랫폼 대비 30% 화학물질 사용량을 줄이고 전력 소모도 최대 35% 감소시킨다.
장비 플랫폼이 차지하는 공간도 30% 줄일 수 있다. 반도체 제조사가 팹 공간 활용도를 높일 수 있다는 의미다. 또 플랫폼에 수천개의 센서를 장착, 공정 중에 발생하는 각종 데이터를 수집·분석할 수 있다. 장비 이상 유무와 공정 과정에 대한 정보를 실시간으로 파악할 수 있다.
비스타라 플랫폼은 일부 반도체 제조사에 공급돼 평가를 진행 중이다. 어플라이드는 고객사 수요에 맞춰 대량 양산 체제로 전환할 예정이다. 프라부 라자 어플라이드 반도체 사업부 사장은 “비스타라는 고객 혁신, 신뢰성, 생산성 측면에서 오랜 기간 신뢰받는 플랫폼으로 자리잡기 위해 설계됐다”며 “반도체 제조 복잡성, 비용, 생산 기간, 탄소 배출 등 반도체 업계가 해결해야 할 문제를 해결하기 위한 고유 솔루션이 될 것”이라고 밝혔다.
권동준 기자 djkwon@etnews.com
