장비는 반도체 제조의 핵심이다. 장비가 없으면 첨단 반도체도 없고, 설계도 무용지물이다. 반도체 패권 전쟁에서 국가별 전략 무기로 삼는 것도 이 반도체 장비다.
반도체 생산에 빼놓을 수 없는 첨단 공정 장비 역시 진화를 거듭하고 있다. 변화무쌍한 반도체 시장에 대응하려면 차별화가 필수다. 글로벌 유수 반도체 장비 기업이 기술 뿐 아니라 제품과 사업 전략에도 혁신을 불어넣는 배경이다.
전자신문이 오는 18일부터 20일까지 서울 서초구 양재동 엘타워에서 개최하는 '테크서밋 2023'에서는 전 세계 내로라하는 반도체 장비 기업이 참석, 미래 반도체 시장을 주도할 첨단 공정 장비 기술과 전략을 소개한다.
세계 최대 반도체 장비회사 어플라이드 머티어리얼즈는 반도체 장비 업계의 '지속가능성'에 대해 논의한다. 박광선 어플라이드머티어리얼즈코리아 대표가 '넷 제로를 향한 협력의 길'을 주제로 반도체 업계의 기술 혁신 방향에 대한 새로운 시각을 제시한다. 박 대표는 1994년 어플라이드에 입사해 기술 지원과 영업 등 다방면에서 경력을 쌓은 전문가다. 지난해 10월 어플라이드코리아 대표 겸 지역 총괄로 선임됐다.
박 대표는 최근 반도체 시장에서도 관심을 받는 환경·사회·지배구조(ESG) 과제를 어플라이드가 어떻게 풀어나가는지 소개한다. 어플라이드는 최근 반도체 생산 능력을 키울 뿐만 아니라 전력 소모를 최소화할 수 있는 공정 장비 플랫폼을 개발, 탄소절감 등 ESG 행보를 강화하고 있다.
램리서치는 새생크 데시무크 식각제품그룹 부사장이 '칩을 만드는 칩 : 혁신 소용돌이를 가속화하는 가상화·디지털 트윈·머신러닝'을 주제로 발표한다. 데시무크 부사장은 지난해까지 한국 연구개발(R&D)을 총괄하는 램리서치 코리아테크놀로지 센터장을 역임한 인물로, 올해 램리서치의 식각 공정을 총괄하게 됐다.
데시무크 부사장은 반도체 장비가 어떻게 '지능화'되는지 집중 소개할 예정이다. 최근 반도체 장비 업계는 설비에 부착된 각종 센서를 기반으로 대규모 데이터를 수집·분석, 머신러닝을 통해 혁신을 창출하는데 총력을 기울이고 있다. 데시무크 부사장은 이같은 반도체 제조 공정 변화와 가상 환경에서의 칩 제조 개념을 설명하고, 실제 반도체 설계와 생산에 활용되는 사례를 분석한다.
반도체 계측·검사 분야 1위 기업인 KLA에서는 허진석 패터닝 기술팀장이 '반도체 공정 제어 기술'을 주제로 강연한다. 반도체 회로가 미세화하면서 공정 제어에 계측과 검사가 필수 요소로 급부상했다. 허 팀장은 반도체 진화에 따라 업계가 직면한 계측 및 검사 한계를 짚으면서 이를 극복할 미래 기술을 제시할 예정이다. 반도체 공정 제어를 위한 시장 전망으로 업계에 새로운 통찰력을 전달한다.
175년이 넘는 역사를 가진 글로벌 광학 기업 자이스도 테크서밋 2023 연단에 선다. 자이스는 ASML과 협력, 극자외선(EUV) 노광장비에 들어가는 핵심 광학 솔루션을 공급하고 있다. 이성우 자이스코리아 공정제어솔루션 및 반도체제조기술(PCS-SMT) 부문 상무가 반도체 EUV와 심자외선(DUV)와 관련된 다양한 자이스 솔루션과 기술을 공개한다. EUV를 겨냥한 자이스 계측 검사 시스템과 공정 제어, 수율 관리 기술도 소개할 예정이다.
권동준 기자 djkwon@etnews.com
