예스티는 고대역폭메모리(HBM) 생산 공정에 사용하는 'EDS(Electrical Die Sorting) 퍼니스' 장비 초도 물량을 수주했다고 22일 밝혔다.
이번 물량은 4월부터 순차적으로 납품할 예정이다. 회사는 구체적 거래처를 밝히지 않고, 엔비디아 핵심 파트너사에 납품될 예정이라고 전했다.
EDS 퍼니스 장비는 HBM 생산을 위한 적층 전 웨이퍼 품질을 검사할 때 사용하는 설비다. 급속한 열처리로 HBM에 사용할 웨이퍼의 정상 여부를 판별한다.
예스티는 자체 열처리 기술을 바탕으로 EDS 공정용 퍼니스 설비를 공급하고 있다.
박진형 기자 jin@etnews.com
