세메스는 반도체 노광 공정용 트랙장비인 불화아르곤이머전(ArF-i) 스피너 '오메가 프라임'를 본격 양산한다고 24일 밝혔다.
스피너는 반도체 제조공정에서 웨이퍼에 미세회로를 형성하기 위해 감광액을 도포하고 노광기에서 빛을 조사한 후 다시 현상하는 설비다. 일본 도쿄일렉트론(TEL)이 시장점유율 90% 이상을 차지하고 있다.
세메스는 그동안 불화크립톤(KrF) 스피너를 생산해 왔으며, 광원의 파장 선폭이 짧아진 고성능 노광기 대응을 위해 ArF-i 장비를 개발했다. 지난해 1호기를 출하한 데 이어 올해 2호기를 시작으로 본격 양산에 돌입한다.
ArF-i 스피너는 고청정·고생산성·고정밀도가 요구되는 설비다. 세메스는 코팅, 현상 프로세스 유닛의 조정 편차를 없애기 위해 로봇의 위치조정, 베이크 온도 세팅, 노즐 조정 등 자동화시스템을 개발 적용했다. 또 비전 감시 기능 시스템, 베이크 자동보정 등의 특화 기술도 추가했다.
최길현 세메스 최고기술책임자(CTO)는 “반도체 핵심 공정 장비인 오메가 프라임의 개발로 향후 수입대체 효과가 클 것”이라며 “앞으로 고부가가치 중심의 독보적이고 차별화된 장비를 선보여 기술혁신 기업으로 거듭나겠다”고 말했다.
박진형 기자 jin@etnews.com
