전국의 국가 나노인프라가 손을 맞잡고 산·학·연 애로기술 확보, 시제품 제작에 힘을 보탰다. 연계 지원 사업을 통해 기술 상용화와 최초 개발 등 성과가 다수 도출됐다.
과학기술정보통신부 지원으로 국가 나노인프라가 주체가 돼 이뤄진 '기술사업화 지원형 나노소자기술 표준공정 개발 및 시험인증 시스템 구축' 사업이 핵심이다.
나노종합기술원(대전), 한국나노기술원(수원), 나노융합기술원(포항), 한국전자기술연구원(전주), 한국생산기술연구원(광주), 대구테크노파크 나노공정기술센터(대구)가 연계·참여했다.
전력반도체, 디스플레이, 유연 조명 소자 제작 등에 필요한 표준공정·공인시험인증 플랫폼 개발이 사업 목적이다.
이 사업으로 탄화규소(SiC) 전력반도체(나노융합기술원), 투명 디스플레이(한국전자기술연구원), 유연 유기발광다이오드(OLED) 조명소자(한국생산기술연구원) 표준공정 서비스 플랫폼을 확보해 수요기관 지원을 이뤘다.
이에 더해 나노 측정·분석장비 기반 미세구조분석, 표면성분분석, 한국인정기구(KOLAS) 공인시험성적서 발행 지원 등을 바탕으로 이용자들에게 다양한 서비스를 제공하고 있다.
특히 KOLAS 공인시험성적서는 이번 사업을 통해 2019년부터 현재까지 109건을 발행했다. 이번 사업으로 나노인프라 기관이 국가 공인시험 서비스를 제공할 수 있게 된 것은 매우 뜻깊다는 평가를 받는다.
우수성과도 많이 도출되고 있다. 일례로 전력반도체 기업 아이큐랩은 나노융합기술원과 공동개발로 'SiC 산화막 반도체 전계 효과 트랜지스터(MOSFET) 1200볼트(V)/80메가옴(㏁)' 소자 상용화에 성공했다.
공동개발한 SiC 전력반도체는 고전압 대전류에도 안정적으로 작동해 전기차에 탑재되거나 신재생에너지 분야, 데이터센터 등에서 각광 받을 전망이다.
국내 최초 SiC 기판의 2차원 도핑프로파일 측정기술 개발 성과도 이번 사업 기반으로 이뤄졌다. 주사전자현미경을 이용한 2차원 도핑 프로파일 측정기술을 국내에서 처음으로 SiC 소자에 적용, 분석지원 해 SiC 전력소자 개발에 크게 기여할 수 있게 됐다. 또 영상 도핑 프로파일을 통해 세계 최초 정량평가 기법 개발도 진행 중이다.
세계 최초 '원자현미경(AFM)' 공인시험 서비스 기반 확보 성과도 있다. 그동안 공인시험인정이 어려웠던 'AFM 장비 이용 나노스케일 단차측정 분야'에서 나노인프라 기관이 협력해 공인인증 규격 적용이 가능한 단체표준을 확보했다. 이 결과 KOLAS 국제공인시험이 가능하게 됐다.
이와 관련 김권제 아이큐랩 대표는 “나노융합기술원 기술지원을 받아 전력소자 상용화를 성공시킬 수 있었고, 앞으로도 국가 나노인프라가 표준공정 플랫폼 구축 및 시험인증 기술개발을 통해 많은 중소기업 제품 상용화를 빠르게 지원할 수 있으면 좋겠다”고 밝혔다.
김영준 기자 kyj85@etnews.com
