[미래 반도체 스타]<3>미르테크 “반도체 웨이퍼 전수 검사 기술 상용화”

미르테크가 반도체 웨이퍼 검사 시스템을 상용화, 반도체 위탁생산(파운드리) 라인에 공급했다. 실시간으로 고속 전수 검사가 가능해 반도체 수율 개선에 기여할 것으로 기대된다.

미르테크는 SK하이닉스 사내벤처 '하이개러지' 3기 출신으로 2022년 설립됐다. 반도체 제조 과정에 필수인 웨이퍼 검사(인스펙션) 솔루션이 주력이다.

반도체 제조는 약 700개 이상 공정 단계를 거쳐야 한다. 복잡한 공정을 반복하다보면 여러 웨이퍼 결함이 발생한다. 웨이퍼 결함은 반도체 수율을 떨어트리고 비용 손실을 야기하는 주 원인이다. 웨이퍼 결함 인스펙션이 필요한 이유다.

지금까지 다양한 인스펙션 솔루션이 있었지만, 기술적 한계로 전수 검사는 어려웠다. 미르테크는 추가 과정 없이 공정 전·후 원인 분석 비교하는 '프리 포스트' 기술을 구현, 웨이퍼 결함을 실시간으로 전수 검사할 수 있는 시스템을 구현했다.

미르테크 시스템은 지난 5월 DB하이텍에 공급, 웨이퍼 결함 검출력과 활용 우수성을 입증했다. 국책 과제를 통해 SK하이닉스과도 협력, 성능 평가를 진행했다. 8인치 뿐 아니라 12인치 웨이퍼 전수 검사 기술력을 인정받았다.

미르테크는 “최근 인공지능(AI)이 급성장하면서 고대역폭메모리(HBM), 쿼드레벨셀(QLC), 컴퓨트익스프레스링크(CXL) 등 고부가 가치, 고난도 반도체 수율을 개선하기 위해 웨이퍼 전수 검사 기술이 필수 불가결한 상황”이라고 강조했다.

박정옥 미르테크 대표

[박정옥 미르테크 대표]

“반도체 미세화에 따라 제조 공정을 실시간으로 검사 및 분석하는 필요성이 점점 커졌습니다. 소형화·모듈화·지능화를 통해 반도체 공정과 장치 상태를 파악하는 공정 기술을 확보해야합니다.”

박종옥 미르테크 대표는 SK하이닉스 계측 공정 업무를 담당하면서 기존 웨이퍼 샘플링 검사의 문제점을 파악했다. 반도체 수율 개선을 위해서는 새로운 검사 기술이 필요하다고 판단한 것이다. 미르테크가 SK하이닉스 사내벤처로 탄생하게 된 배경이다.

반도체 웨이퍼 결함 실시간 전수 검사 기술을 확보한 미르테크는 제품 상용화에 성공했고, 지금은 글로벌 진출 목표도 수립했다.

박 대표는 “시장 확대를 위해 차별화 제품을 선제적으로 내놓을 계획”이라며 “핵심 알고리즘 내재화와 다수 프로젝트 성공 경험, 대기업과의 협업 프로그램 등 검증된 인스펙션 솔루션을 앞세워 시장을 공략하겠다”고 밝혔다. 미르테크는 현재도 AI 딥러닝을 적용한 검사 기술 개발에 집중하고 있다.

※[미래 반도체 스타] 시리즈는 중소벤처기업부와 창업진흥원이 지원하는 '초격차 스타트업 1000+' 사업의 일환으로 서울대학교 시스템반도체산업진흥센터와 함께 진행한다.

미르테크 반도체 웨이퍼 결함 전수 검사 시스템

권동준 기자 djkwon@etnews.com