엠비젼(대표 이구열)이 단파적외선(SWIR:Short Wavelength InfraRed) 카메라 이미징을 위한 전용 조명을 개발했다.
SWIR 카메라는 반도체 패키지나 웨이퍼 내부의 크랙 등 일반적인 비전검사 시스템에서는 볼 수 없는 결함을 검출하기 위해 최근 널리 사용되고 있다. 엠비젼 SWIR 조명은 SWIR 카메라와 함께 사용해 결함 검출력을 크게 향상시킬 수 있다.
SWIR 조명은 동축 스폿조명, 면조명, 돔조명으로 개발됐으며 파장은 1100, 1200, 1300, 1450, 1550, 1650㎚로 필요한 파장을 선택해 적용할 수 있다. 엠비젼은 SWIR 조명과 렌즈를 시스템으로 구성해 반도체와 웨이퍼 내부 결함에 대한 검출력을 획기적으로 향상시킬 수 있다고 설명했다.
엠비젼은 지난달 독일 슈투트가르트에서 열린 VISION 2024에 참가해 SWIR 조명과 렌즈를 선보여 외국 바이어로부터 호평을 받았다.
권상희 기자 shkwon@etnews.com
