SK하이닉스가 전력 소비를 40% 줄인 신규 저전력 펌프를 개발, 반도체 제조 공정에 도입한다.
SK하이닉스 뉴스룸에 따르면, SK하이닉스는 새로 개발한 저전력 펌프를 기존 반도체 공정 라인과 신규 구축 중인 팹에 도입할 예정이다.
펌프는 반도체 공정 중 높은 진공 환경을 만들어 불순물을 제거할 때 쓰인다. 반도체 품질과 수율 확보에 필수다.
펌프를 구동하는데 사용하는 전력은 전체 팹 소비 전력의 15%에 달한다. SK하이닉스는 전력 소모를 줄이고 '2050년 넷제로' 달성을 위해 2022년 전사조직으로 탄소관리위원회를 출범했는데, 그 중 저전력 펌프 도입 분과에서 저전력 펌프 개발에 성공했다. 모터·소재·구조 변경과 신규 아키텍처 도입으로 기존 펌프 대비 소비 전력을 39.7% 줄일 수 있다.
저전력 펌프는 1분기부터 평가를 시작, 3분기부터 기존 운영 중인 팹에 도입하고 있다. M15X와 용인 클러스터에는 평가 완료된 공정 라인에 저전력 펌프를 전량 도입할 예정이다.
SK하이닉스는 기존 펌프도 회전 속도 감속 등으로 저전력 운영에 나섰다. M15와 M16 팹 식각 공정 경우 평균 전력 사용량이 16.7% 감소될 것으로 기대하고 있다.
권동준 기자 djkwon@etnews.com
