펨트론이 인공지능(AI) 기술로 반도체 패키지 미세 결함을 파악하는 자동 엑스레이 장비를 출시했다.
펨트론은 19일부터 21일까지 열리는 '세미콘코리아 2025'에서 차세대 반도체 엑스레이 장비 '주피터'를 공개했다.
신규 장비는 반도체 패키지에서 발생하는 빈 공간(공극)과 패키지를 연결하는 마이크로 범프의 들뜸·비틀림 등 결함을 찾아, 수율을 개선할 수 있다.
특히 생성형 AI 알고리즘을 활용, 보다 적은 촬영으로도 반도체 패키지 미세 결함을 파악하는 것이 특징이다. 이를 통해 기존 엑스레이 장비 대비 최대 4배 높은 생산성을 확보할 수 있다고 회사는 설명했다.
회사 관계자는 “촬영 횟수을 줄여 반도체 패키지의 피폭도 최소화할 수 있다”며 “기존 장비로는 어려웠던 전수 검사가 가능하다”고 부연했다.
펨트론은 글로벌 외주패키징·테스트(OSAT)업체에 장비를 공급, 성능 평가를 진행하고 있다고 덧붙였다.
권동준 기자 djkwon@etnews.com
