차세대 반도체 규격인 450㎜ 웨이퍼 표준을 비롯해 평판디스플레이(FPD)·태양전지 관련 새로운 표준 규격들이 발표됐다.
5일 업계에 따르면 세계반도체장비재료협회(SEMI)는 최근 8종의 반도체·FPD·태양전지 관련 표준 규격을 공개했다. 이들 표준은 기존 790여종의 표준과 함께 이달 게재되는 SEMI 표준 규격에 포함될 예정이다.
8종의 새로운 표준 가운데 ‘T20.3’ 규격은 반도체 및 관련 제품의 인증 절차를 규정하고 있고, ‘E158’·‘M76’·‘E156’ 등 3종은 450㎜ 반도체 웨이퍼 표준들이다. 또 ‘D60’은 FPD 편광필름과 재료 표면의 테스트 방법, ‘D59’는 3차원(D) 디스플레이 표준을 규정하고 있다.
‘PV4’ 표준은 5세대(G) 대면적 박막 태양전지 규격을 정의하고 있으며, ‘E157’은 모듈공정 규격을 제시하고 있다.
서한기자 hseo@etnews.co.kr