미국 정부가 최근 일부 반도체 장비에 대한 수출 규제를 완화했다. 팹 투자가 점차 확대되고 있는 중국으로 수출이 늘어날 전망이다.
5일(현지시각) EE타임스 등 주요 외신이 반도체장비재료협회(SEMI)를 인용 보도한 바에 따르면 미국 정부는 최근 자국 내 장비업계를 대상으로 에처 · 클러스터 등 일부 품목에 한해 수출 제한을 푸는 조치를 단행했다.
지난 수년간 미국 내 장비업계는 중국 시장에 확대 진출하기 위해 이 같은 규제 완화를 지속적으로 촉구해왔다. 미국의 반도체 장비를 중국에 판매할 때 0.25㎛ 이하 선폭 장비는 제한 규정이 없지만, 까다로운 절차 탓에 일부 경우는 수출 승인과정이 오래 걸릴 수 있는 것이다.
에처 · 클러스터 장비 수출업체는 수출 통제 요구조건이 크게 간소화될 것이라고 기대했다. 에처 장비는 종전 180나노급 이상이던 수출 제한 기준이 65나노 이상급으로 대폭 낮춰졌고, 클러스터 장비도 두 가지 이상 서로 다른 반도체 공정 기능을 가진 제품에 한해 수출 허가를 받으면 된다.
SEMI는 바세나르협정에 따른 반도체 장비 수출 규제 완화를 지속적으로 촉구해왔고, 미 연방정부는 작년 말 제안한 업계 의견을 최근에야 받아들였다.
서한기자 hseo@etnews.co.kr