린데그룹은 볼텍스와 파트너십을 맺고 미국 펜실베니아에 연 40톤 생산능력의 초고순도 디실란 공장을 짓는다고 4일 밝혔다.
디실란은 반도체용 폴리실리콘 증착 공정에 필요한 핵심소재다. 기존 사용되는 모노실란보다 증착률이 높고, 저온 공정도 가능하다. 무엇보다 20㎚ 이하 미세공정을 가능케 해 최근 주목받고 있다.
반도체 소자 업체들이 20㎚ 이하 미세공정 비중을 늘림에 따라 향후 디실란 수요가 급증할 것으로 예상된다.
린데그룹은 반도체용 특수가스 제조업체이며, 볼텍스는 반도체·태양광 재료를 주로 생산한다.
홀거 키르크너 린데그룹 특수가스사업부 총괄은 “차세대 메모리 반도체 시장이 활기를 띠면서 디실란 수요도 늘어날 것으로 기대한다”며 “린데그룹은 조기에 초고순도 디실란 생산 기반을 구축해 차세대 메모리 반도체 재료 시장을 주도할 것”이라고 말했다.
이형수기자 goldlion2@etnews.com