반도체 장비 업체 테스가 차세대 화학물 증착 장비인 저압화학기상증착장비(LPCVD) 양산에 성공했다. 글로벌 장비 기업이 진출하지 않은 매엽식(싱글타입) 방식을 사용해 틈새 시장을 노릴 수 있게 됐다.
테스(대표 주숭일)는 웨이퍼를 한 장씩 처리하는 싱글타입 LPCVD를 양산해 SK하이닉스에 납품했다고 25일 밝혔다.
싱글타입은 웨이퍼 여러 장을 동시에 증착하는 배치(Batch)타입에 비해 미세 공정에서 강점이 있다. 웨이퍼를 한 장씩 처리하지만 증착 시간을 대폭 줄였기 때문에 시간당 웨이퍼 처리량은 오히려 높아졌다.
싱글타입 LPCVD는 미세화 공정이 진행될수록 수요는 늘지만 글로벌 업체들이 진출하기에는 전체 공정 내에서 비중이 높지 않다.
하지만 기술 수준이 높은 고부가가치 상품이라 수익성은 좋다. 중소기업인 유진테크는 LPCVD 장비로 지난해 연간 영업이익만 20%를 넘었다. 국내 장비 업체로서는 이례적으로 높은 수익률이다. 테스가 LPCVD 양산을 시작하면서 LPCVD 시장은 경쟁 체제로 바뀔 전망이다.
주숭일 테스 사장은 “반도체 전공정의 가스 방식 식각(에칭) 장비와 화학기상증착(PECVD) 장비 외에 LPCVD까지 양산하면서 제품 다변화를 이뤘다”며 “이번 제품 양산으로 수익성도 개선될 것”으로 기대했다.
오은지기자 onz@etnews.com